search query: @keyword SI / total: 19
reference: 7 / 19
« previous | next »
Author:Hakkarainen, Niina
Title:Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal photodetectors on SOI-substrates
Metalli-puolijohde-metalli valodetektorien valmistus ja karakterisointi SOI-substraateille
Publication type:Master's thesis
Publication year:1999
Pages:52      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Elektronifysiikka   (S-69)
Supervisor:Kuivalainen, Pekka
Instructor:
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:photodetector
Schottky-contact
MSM-PD
SOI
Si
valoilmaisin
Schottky-liitos
MSM-PD
SOI
Si
Abstract (fin):Diplomityössä tarkastellaan metalli-puolijohde-metalli-rakenteeseen perustuvia nopeita valoilmaisimia (MSM-PD).
Ensin tarkastellaan valoilmaisimen teoriaa: Schottky-liitoksen muodostumista ja ominaisuuksia ja virrankuljetusta ilmaisimessa.
Tämän jälkeen käsitellään ilmaisimen vastinpiiriä.
Ilmaisimen metallisormirakenteesta aiheutuvalle kapasitanssille ja resistanssille esitetään lausekkeet.
Käsitellään myös ilmaisimen toimintaan vaikuttavia parametrejä: nopeutta, taajuusvastetta, kvanttihyötysuhdetta ja vastetta.

Ilmaisimia on valmistettu eri substraateille, tavalliselle piille ja SOI-substraateille.
Käydään läpi valmistustekniikka ja eri prosessointivaiheet kuvataan tarkemmin.
Käsitellään lyhyesti substraattimateriaalit.

Ilmaisimille on tehty mittauksia, joiden antamien tulosten avulla komponenttien toimintaa analysoidaan.
Mittaukset sisältävät valovirta-, kapasitanssi-, spektrivaste- ja nopeusmittauksen.
ED:1999-09-17
INSSI record number: 14709
+ add basket
« previous | next »
INSSI