search query: @keyword SI / total: 19
reference: 7 / 19
Author: | Hakkarainen, Niina |
Title: | Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal photodetectors on SOI-substrates |
Metalli-puolijohde-metalli valodetektorien valmistus ja karakterisointi SOI-substraateille | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 1999 |
Pages: | 52 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | photodetector Schottky-contact MSM-PD SOI Si valoilmaisin Schottky-liitos MSM-PD SOI Si |
Abstract (fin): | Diplomityössä tarkastellaan metalli-puolijohde-metalli-rakenteeseen perustuvia nopeita valoilmaisimia (MSM-PD). Ensin tarkastellaan valoilmaisimen teoriaa: Schottky-liitoksen muodostumista ja ominaisuuksia ja virrankuljetusta ilmaisimessa. Tämän jälkeen käsitellään ilmaisimen vastinpiiriä. Ilmaisimen metallisormirakenteesta aiheutuvalle kapasitanssille ja resistanssille esitetään lausekkeet. Käsitellään myös ilmaisimen toimintaan vaikuttavia parametrejä: nopeutta, taajuusvastetta, kvanttihyötysuhdetta ja vastetta. Ilmaisimia on valmistettu eri substraateille, tavalliselle piille ja SOI-substraateille. Käydään läpi valmistustekniikka ja eri prosessointivaiheet kuvataan tarkemmin. Käsitellään lyhyesti substraattimateriaalit. Ilmaisimille on tehty mittauksia, joiden antamien tulosten avulla komponenttien toimintaa analysoidaan. Mittaukset sisältävät valovirta-, kapasitanssi-, spektrivaste- ja nopeusmittauksen. |
ED: | 1999-09-17 |
INSSI record number: 14709
+ add basket
INSSI