search query: @keyword atomikerroskasvatus / total: 19
reference: 16 / 19
Author: | Mäkinen, Joonas |
Title: | Hafniumoksidin atomikerroskasvatus ja fysikaaliset ominaisuudet |
The growth of hafnium oxide by atomic layer deposition and the physical properties | |
Publication type: | Bachelor's thesis |
Publication year: | 2009 |
Pages: | 29 Language: fin |
Department/School: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
Main subject: | Sähköfysiikka (S3014) |
Supervisor: | Turunen, Markus |
Instructor: | Bosund, Markus |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305166355 |
Location: | |
Keywords: | ALD atomikerroskasvatus hafniumoksidi HfO2 taitekerroin läpilyöntikenttä |
ED: | 2010-02-17 |
INSSI record number: 38977
+ add basket
INSSI