search query: @keyword alumiinioksidi / total: 19
reference: 3 / 19
| Author: | Myllynen, Antti |
| Title: | Oksidiohutkalvojen valmistus FCVAD- ja HiPIMS-menetelmillä sekä niihin liittyvät ongelmat |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2015 |
| Pages: | 22 Language: fin |
| Department/School: | Kemian tekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Materiaalitekniikan koulutusohjelma |
| Main subject: | Soveltava materiaalitiede (MT3001) |
| Supervisor: | Forsén, Olof |
| Instructor: | Korhonen, Antti |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201506303289 |
| Location: | |
| Keywords: | oksidiohutkalvo HiPIMS FCVAD PVD alumiinioksidi titaanioksidi |
| ED: | 2015-08-16 |
INSSI record number: 51684
+ add basket
INSSI