search query: @keyword atomikerroskasvatus / total: 19
results-list
reference: 1 / 19
« previous | next »
Author:Niiranen, Kalle
Title:Fabrication of optical rugate structures by Atomic Layer Deposition
Optisten rugate-rakenteiden valmistus atomikerroskasvatumenetelmällä
Publication type:Master's thesis
Publication year:2016
Pages:(7) + 80 s. + liitt. 4      Language:   eng
Department/School:Kemian tekniikan korkeakoulu
Main subject:Soveltava materiaalitiede   (MT3001)
Supervisor:Franssila, Sami
Instructor:Härkönen, Kari
Electronic version URL: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201609224175
Location:P1 Ark Aalto  4505   | Archive
Keywords:atomic layer deposition
rugate
refractive index
nanolaminate
thin film
optics
atomikerroskasvatus
admittanssi
heijastuksenesto
kaistanestosuodatin
nanolaminaatti
optiikka
rajapinta
taitekerroin
Abstract (eng):Methods for the fabrication of thin film structures with multiple optical admittance values by thermal Atomic Layer Deposition are presented.
The deposition of films was conducted at the clean-room facilities of Beneq Espoo with film characterization by spectroscopic methods.
Results include linear models for compositionally varying refractive indices of Al2O3-TiO2 and SiO2(Al)-TiO2 laminated films.
A method to achieve tunable refractive indices accounting for dispersion is confirmed and correspondence to theoretical models achieved.
The optical properties of inhomogeneity and optical losses for both systems are also characterized.
Realized applications comprise of an apodized rugate notch filter using the Al2O3-TiO2 system and a rugate anti-rfl‚ection coating using the SiO2(Al)-TiO2 system.
Abstract (fin):Tämä diplomityö käsittelee useita optisia admittanssiarvoja omaavien rugate-ohutkalvorakenteiden valmistusta atomikerroskasvatusmenetelmällä.
Kalvojen kasvatus tapahtui Beneq Oy:n puhdastiloissa Espoossa.
Ohutkalvojen karakterisointi toteutettiin spektroskopisilla menetelmillä.
Työn tuloksina olivat lineaariset mallit taitekertoimen muutokseen tilavuuspitoisuuden funktiona Al2O3-TiO2 ja SiO2(Al)TiO2 -nanolaminaattikalvoissa.
Kalvojen optisia ominaisuuksia, kuten epähomogeenisuutta ja häviöitä, on karakterisoitu ja havaittujen ilmiöiden syitä analysoitu.
Saatujen tulosten perusteella sovelluksina kehitettiin apodisoitu kaistanestosuodatin Al2O3-TiO2 -systeemillä ja heijastuksenestopinnoite käyttäen SiO2(Al)-TiO2 -systeemiä.
ED:2016-09-25
INSSI record number: 54409
+ add basket
« previous | next »
INSSI