search query: @keyword vacuum encapsulation / total: 2
reference: 2 / 2
« previous | next »
Author: | Seppälä, Pekka |
Title: | Mikromekaanisen resonaattorin karakterisointi |
Characterization of Micromechanical Resonator | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 1999 |
Pages: | 55 Language: fin |
Department/School: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto |
Main subject: | Fysiikka (Tfy-3) |
Supervisor: | Hautojärvi, Pekka |
Instructor: | Lehto, Ari |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TF80 | Archive |
Keywords: | micromechanics resonator vacuum encapsulation mikromekaniikka resonaattori SOI tyhjiökotelointi |
Abstract (fin): | Mikromekaniikassa tarkastellaan rakenteita, joiden kokoluokka on tyypillisesti 1 mikrometriä -1 mm. Rakenteiden pienentyessä niiden inertia vähenee ja ne kokevat väliaineen vastuksen voimakkaampana. Toisaalta rakenteiden keventyessä niiden liikuttelu sähkökentillä helpottuu. Tässä työssä tutkittiin kapasitiivista palkkirakennetta, jonka ominaistaajuus oli noin 100 kHz. Rakenteen mekaanista toimintaa tutkittiin tarkastelemalla muutoksia komponentin impedanssissa ja kapasitanssissa. Palkki oli prosessoitu SOI (silicon-on-insulator) -piikiekon yksikiteiseen pintakerrokseen. Mikromekaanisen palkin prosessointi oli suoritettu aikaisemmin. Mittauksia varten palkit koteloitiin. Mittauksissa käytetty mittauslaitteisto koostui kaupallisesta impedanssianalysaattorista ja tyhjiölaitteistosta, joka rakennettiin tämän työn yhteydessä. Tyhjiökammio mahdollisti mittaukset painealueella, jossa ilmanvastus ei estänyt palkin resonointia. Tärkein havainto mittauksissa oli paineen vaikutus mitattavan komponentin toimintaan. Väliaineen vastus vaimentaa resonaattorin liikettä ja tekee mittaukset normaalissa ilmanpaineessa mahdottomiksi. Ilmanvastuksen vaikutus hävisi mittauksissa alle 0,1 mbar paineessa. Resonaattorin sovellutuksissa yleisesti tarvittava jännitteellä tapahtuva taajuudensäätö todennettiin mittauksissa ja lisäksi tutkittiin rakenteen stabiilisuutta palkin yli olevaa jännitettä kasvatettaessa. Suoritettujen mittausten perusteella todettiin komponentin tyhjiökotelointi välttämättömäksi. Samoin havaittiin resonaattorin ajamisen liian suurilla amplitudeilla heikentävän resonaattorin suorituskykyä. |
ED: | 1999-07-20 |
INSSI record number: 14589
+ add basket
« previous | next »
INSSI