search query: @keyword thin film characterization / total: 2
reference: 1 / 2
« previous | next »
Author:Rissanen, Anna
Title:Porous silica in micromechanical applications
Huokoinen lasi mikromekaanisissa sovelluksissa
Publication type:Master's thesis
Publication year:2003
Pages:77      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Blomberg, Martti
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:Sol-gel technology
aerogel
xerogel
porosity
supercritical drying
spinning
thin film characterization
refractive index measurements
Sol-gel -tekniikka
aerogeeli
xerogeeli
huokoisuus
superkriittinen kuivaus
spinnaus
ohutkalvon karakterisointi
taitekerroinmittaukset
Abstract (fin):Aero- ja xerogeelit ovat nanohuokoisia materiaaleja, jotka tehdään sol-gel -tekniikalla.
Korkean huokoisuuden takia niillä on monia ainutkertaisia fysikaalisia, termisiä, sähköisiä ja mekaanisia ominaisuuksia.
Tämän työn tarkoitus oli kehittää puhdastilaan soveltuva sol-gel -prosessi ja saada aikaan kalvoja joiden huokoisuus on 60:n ja 80:n prosentin välillä.

Työssä käytettiin useita reseptejä sekä prosessimodifikaatioita.
Haluttuun tulokseen päästiin kaksivaiheisella happo-emäs sol-gel -prosessilla käyttäen tertiaarista butanolia liuottimena.
Ensimmäisessä hydrolyysivaiheessa soolin koostumus oli TEOS: TBA: H_(2)O: HCl= 1: 3 : 2 : 7.3e-4.
Toisessa vaiheessa sooliin lisättiin ammoniakkia kondensaatioreaktion katalysoimiseksi.
Liuos spinnattiin piialustoille liuottimella saturoidussa ilmatilassa.
Päällystämisen jälkeen kalvoja ikäännytettiin isopropanoli-ammoniakki -liuoksessa.
Liuotin vaihdettiin isopropanoliin ja poistettiin superkriittisellä kuivausmenetelmällä.

Kalvoja karakterisoitiin taitekerroinmittauksilla, pyyhkäisyelektronimikroskoopilla (SEM) sekä Rutherfordin takaisinsirontaspektrometrialla (RBS).
Aerogeelin kuviointia litografialla ja plasmaetsaamalla tutkittiin.
Lisäksi käsiteltiin kalvojen soveltamista puoliläpäisevänä etsausmaskina, vakojen täyttömateriaalina sekä soveltuvuutta nanokalorimetrisiin sovelluksiin ja kosteusantureihin.

Sol-gel -prosessin toistettavuus todettiin huonoksi.
Kalvojen demonstroitiin myös olevan hiukkaslähde, mikä tekee prosessista IC-yhteensopimattoman.
Kalvojen kuviointi on mahdollista, joskin se muuttaa kalvojen ominaisuuksia.
ED:2003-09-16
INSSI record number: 19971
+ add basket
« previous | next »
INSSI