search query: @keyword pintavaraus / total: 2
reference: 1 / 2
« previous | next »
Author:Rytkönen, Ville-Pekka
Title:Built-in voltages of metal-semiconductor junctions and structures
Built-in -jännitteet metalli-puolijohdeliitoksissa ja -rakenteissa
Publication type:Master's thesis
Publication year:2005
Pages:ix + 61 s. + liitt. 9      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Koskenvuori, Mika
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:built-in voltage
MEMS
capacitive sensor
work function
contact potential
surface charge
interface charge
built-in -jännite
kapasitiivinen anturi
työfunktio
kontaktipotentiaali
pintavaraus
rajapintavaraus
Abstract (fin): Mikroelektroniikan komponenttien koon pienentyessä pintailmiöiden ja sellaisten voimien, jotka liittyvät hyvin lähellä toisiaan oleviin rakenteisiin, merkitys kasvaa.
Tässä työssä tutkittiin sähköstaattisia pintailmiöitä metalli-puolijohderakenteissa.
Erityisen mielenkiinnon kohteena olivat lämpötilariippuvuudet.

Työn teoreettisessa osuudessa käsitellään metallien, puolijohteiden ja eristeiden pinta, rajapinta sekä bulk -ominaisuuksia.
Pintavaraukset ja -potentiaalit metallipuolijohderakenteissa saavat aikaan sisäänrakennetun jännitteen (engl. the builtin potential).
Nämä spontaanit jännitteet johtuvat pääasiassa eri materiaalien työfunktioiden eroista.
Näiden jännitteiden vaikeasti ennustettava lämpötilariippuvuus on myös selkeä tekninen ongelma anturisovelluksissa.
Pinta- ja rajapintavaraukset aiheuttavat materiaalin energiavöiden taipumista pinta-alueilla.
Tämä edelleen muuttaa built-in -potentiaaleja.
Pinta- ja rajapintatilat saavat myös aikaan sen, että Fermi-pinta lukittuu paikallisesti tiettyyn arvoonsa.
Tämä pinning -ilmiö voi pienentää lämpötilariippuvuutta.
Rakenteiden natiivioksideissa ja kasvatetuissa oksideissa voi myös olla merkittäviä määriä varausta.
Näillä varauksilla on myös merkitystä built-in -jännitteen kannalta.

Työn kokeellisessa osuudessa sähköstaattisia pintailmiöitä tutkittiin käyttäen hyväksi kapasitiivisia MEMS (micro-electro-mechanical-system) -kiihtyvyysantureita.
Anturissa built-in -jännite syntyy massan ja reunaelektrodin välille.
Tämä häiritsee anturin toimintaa varsinkin pienillä kiihtyvyyksillä.
Built-in -jännitteitä mitattiin CV -menetelmällä lämpökaapissa.
Metalli-metalli -rakenteet osoittautuivat metallipuolijohde -rakenteita stabiilimmaksi lämpötilan suhteen verrattuna.
Lisäksi havaittiin reunaelektrodin päälle kasvatetulla oksidilla olevan lämpötilariippuvuutta alentava vaikutus.
Työssä built-in -jännitteiden mittaamiseen käytettiin CV -menetelmän lisäksi myös uutta Kelvin-probe -menetelmään perustuvaa laitteistoa.
ED:2005-04-13
INSSI record number: 28281
+ add basket
« previous | next »
INSSI