search query: @keyword pintavaraus / total: 2
reference: 1 / 2
« previous | next »
Author: | Rytkönen, Ville-Pekka |
Title: | Built-in voltages of metal-semiconductor junctions and structures |
Built-in -jännitteet metalli-puolijohdeliitoksissa ja -rakenteissa | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2005 |
Pages: | ix + 61 s. + liitt. 9 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Mittaustekniikka (S-108) |
Supervisor: | Tittonen, Ilkka |
Instructor: | Koskenvuori, Mika |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | built-in voltage MEMS capacitive sensor work function contact potential surface charge interface charge built-in -jännite kapasitiivinen anturi työfunktio kontaktipotentiaali pintavaraus rajapintavaraus |
Abstract (fin): | Mikroelektroniikan komponenttien koon pienentyessä pintailmiöiden ja sellaisten voimien, jotka liittyvät hyvin lähellä toisiaan oleviin rakenteisiin, merkitys kasvaa. Tässä työssä tutkittiin sähköstaattisia pintailmiöitä metalli-puolijohderakenteissa. Erityisen mielenkiinnon kohteena olivat lämpötilariippuvuudet. Työn teoreettisessa osuudessa käsitellään metallien, puolijohteiden ja eristeiden pinta, rajapinta sekä bulk -ominaisuuksia. Pintavaraukset ja -potentiaalit metallipuolijohderakenteissa saavat aikaan sisäänrakennetun jännitteen (engl. the builtin potential). Nämä spontaanit jännitteet johtuvat pääasiassa eri materiaalien työfunktioiden eroista. Näiden jännitteiden vaikeasti ennustettava lämpötilariippuvuus on myös selkeä tekninen ongelma anturisovelluksissa. Pinta- ja rajapintavaraukset aiheuttavat materiaalin energiavöiden taipumista pinta-alueilla. Tämä edelleen muuttaa built-in -potentiaaleja. Pinta- ja rajapintatilat saavat myös aikaan sen, että Fermi-pinta lukittuu paikallisesti tiettyyn arvoonsa. Tämä pinning -ilmiö voi pienentää lämpötilariippuvuutta. Rakenteiden natiivioksideissa ja kasvatetuissa oksideissa voi myös olla merkittäviä määriä varausta. Näillä varauksilla on myös merkitystä built-in -jännitteen kannalta. Työn kokeellisessa osuudessa sähköstaattisia pintailmiöitä tutkittiin käyttäen hyväksi kapasitiivisia MEMS (micro-electro-mechanical-system) -kiihtyvyysantureita. Anturissa built-in -jännite syntyy massan ja reunaelektrodin välille. Tämä häiritsee anturin toimintaa varsinkin pienillä kiihtyvyyksillä. Built-in -jännitteitä mitattiin CV -menetelmällä lämpökaapissa. Metalli-metalli -rakenteet osoittautuivat metallipuolijohde -rakenteita stabiilimmaksi lämpötilan suhteen verrattuna. Lisäksi havaittiin reunaelektrodin päälle kasvatetulla oksidilla olevan lämpötilariippuvuutta alentava vaikutus. Työssä built-in -jännitteiden mittaamiseen käytettiin CV -menetelmän lisäksi myös uutta Kelvin-probe -menetelmään perustuvaa laitteistoa. |
ED: | 2005-04-13 |
INSSI record number: 28281
+ add basket
« previous | next »
INSSI