search query: @keyword kohina / total: 29
reference: 15 / 29
« previous | next »
Author:Klemetti, Petri
Title:Kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuus ja kohina
Temperature dependence and noise of angular rate sensor element
Publication type:Master's thesis
Publication year:2004
Pages:80      Language:   fin
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Blomqvist, Anssi
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:angular rate sensor
noise
temperature dependence
MEMS
kulmanopeusanturi
kohina
lämpötilariippuvuus
MEMS
Abstract (fin):Tässä. diplomityössä. tutkitaan kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuuksia ja niiden vaikutusta anturin suorituskykyyn, kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman kokonaisuuden kohinaa sekä anturielementin epälineaarisuuksia. Tuloksia verrataan autoteollisuuden asettamiin vaatimuksiin. Kulmanopeusanturi vaatii toimiakseen elementin lisäksi elektroniikkaa. Tässä työssä rajoitutaan tutkimaan erillisiä resonaattoreita, joista anturielementti muodostuu ja arvioimaan lopullisten vaatimusten täyttymistä näiden tulosten pohjalta.

Kulmanopeusanturin lämpötilariippuvuudet on jaettu kahteen osaan: mekaanisiin ja sähköisiin ilmiöihin. Mekaaniset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat piin mekaanisten ominaisuuksien muutoksista lämpötilan funktiona, anturirakenteen mekaanisesta taipumisesta ja anturin sisällä olevan paineen muutoksista. Tässä työssä tutkittavat sähköiset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat anturin sisällä olevien elektrodien pintajännitteen muutoksista. Sähköisistä ilmiöistä tutkitaan lisäksi resonaattoreihin aiheutuvia sähköisiä häviöitä.

Kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman systeemin kohina asettaa maksimiarvon anturin suorituskyvylle. Mikromekaanisten anturirakenteiden kohinaa on tutkittu kirjallisuudessa laajasti. Tässä työssä on pyritty selvittämään merkittävimmät kohinalähteet tutkittavalle anturirakenteelle.

Työn teoriaosassa käydään läpi anturin toiminnan perusfysiikkaa ja toimintaa kuvaavien parametrien analyyttinen tarkastelu kirjallisuudesta löytyvien tulosten pohjalta. Laskettuja tuloksia verrataan vastaaville rakenteille mitattuihin tuloksiin.

Kokeellisessa osiossa anturielementin ominaisuuksia on mitattu lämpötila-alueella -30 'C ... + 85 ·C. Kohinaa ja epälineaarisuuksia on mitattu huoneenlämmössä.

Työn tuloksena anturielementin ominaisuuksien lämpötilariippuvuusmekanismit on selvitetty ja riippuvuuksien suuruudet mitattu. Mittauksista saatujen tulosten perusteella anturielementistä voi rakentaa anturin, joka täyttää asetetut vaatimukset niin kohinan kuin lämpötilariippuvuuksien osalta.
ED:2004-02-02
INSSI record number: 21142
+ add basket
« previous | next »
INSSI