search query: @keyword thickness measurement / total: 3
reference: 2 / 3
« previous | next »
Author:Pensala, Tuomas
Title:Picosecond Ultrasonic Characterization of Thin Films
Pulssilaserilla synnytettävään ultraääneen perustuva ohutkalvojen karakterisointilaitteisto
Publication type:Master's thesis
Publication year:2000
Pages:53      Language:   eng
Department/School:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Main subject:Materiaalifysiikka   (Tfy-44)
Supervisor:Salomaa, Martti M.
Instructor:
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TF80     | Archive
Keywords:picosecond ultrasonic measurement
thin film characterization
thickness measurement
sound velocity measurement
pulssilaser
ultraääni
ohutkalvo
paksuusmittaus
äänennopeus
Abstract (fin):Alle pikosekunnin mittaisella laserpulssilla voidaan synnyttää lyhyt ultraäänipulssi läpinäkymättömään ohutkalvoon.
Pulssin heijastukset näytteen sisäisistä kalvojen rajapinnoista voidaan detektoida aikaerotteisesti viivästämällä samasta lähteestä johdettua laserpulssia ja mittaamalla sen avulla aikariippuvia muutoksia pinnan heijastuskertoimessa tai pinnan liikettä.
Aikaresoluutio on alle pikosekunnin luokkaa.

Tekniikka on ainetta rikkomaton ja soveltuu läpinäkymättömiin kalvoihin tai rakenteisiin, joissa päällimmäinen kerros on läpinäkymätön ja joiden paksuus vaihtelee muutamasta nanometristä useisiin mikrometreihin.
Suoraviivaisimmat sovellukset ovat kalvon paksuuden tai äänennopeuden määritys.
Resoluutio paksuudessa on nanometriluokkaa.

Tässä työssä esitellään mittaustapahtuman fysiikka ja useita kirjallisuudessa esitettyjä menetelmän sovelluskohteita ja variaatioita.
Esitetään algoritmi, joka määrittää monikerroksisessa näytteessä syntyvien moninkertaisten kaikujen viiveet ja vaiheet periaatteessa mielivaltaisissa tapauksissa.
Laserpulssin synnyttämä aikariippuva lämpötilajakauma näytteessä lasketaan numeerisesti.
Signaalin ja kohinan käyttäytymistä systeemissä analysoidaan.

Työssä rakennettiin kokeellinen mittauslaitteisto.
Paksuus- ja äänennopeusmittaukset demonstroitiin laitteistolla käyttäen sekä pinnan heijastuskertoimen että liikkeen havaitsevaa mittausjärjestelyä ja tarkoitusta varten valmistettuja koenäytteitä.
Kaikujen viiveet määritetään mittausdatasta muutaman prosentin tarkkuudella.
Paksuuden ja äänen nopeuden määritykset viiveiden perusteella kärsivät äänennopeuden epävarmuudesta ohutkalvoissa ja tarkan paksuusrefererenssin puutteesta.

Esitetään suunnitelma parannetusta mittauslaitteistosta.
Parannetulla laitteistolla yhdessä tarkan paksuusmittausmenetelmän kanssa paksuus- ja äänennopeusmittauksissa tulisi yltää muutaman prosentin virhemarginaaliin.
ED:2001-01-15
INSSI record number: 16136
+ add basket
« previous | next »
INSSI