search query: @keyword electrical breakdown / total: 3
reference: 2 / 3
« previous | next »
Author:Chekurov, Nikolai
Title:Prebreakdown processes in capacitive microsystems
Läpilyöntiä edeltävät prosessit mikrosysteemeissä
Publication type:Master's thesis
Publication year:2005
Pages:66+11      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Optiikka ja molekyylimateriaalit   (S-129)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Koskenvuori, Mika
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:electrical breakdown
MEMS
capacitive microsystems
electron emission
electrode conditioning
sähkön läpilyönti
MEMS
kapasitiiviset mikrosysteemit
elektroniemissio
elektrodin sähköinen pinnankäsittely
Abstract (fin):Elektroniikan miniatyrisointi ja mikrosysteemit ovat tuoneet mukanaan joukon ilmeisiä etuja, mutta myös uusia haasteita mikroskaalan fysikaalisten ilmiöiden hallinnassa.
Usein kytkentä lukuelektroniikan ja kolmiulotteisen mikromekaanisen komponentin välillä toteutetaan liikkuvan elektrodin avulla, joka on osa kondensaattoria.
DC - ja AC - eksitointijännitteet aiheuttavat varsin voimakkaita sähkökenttiä mikrometrikokoisessa kytkentäraossa ja saavat aikaan monenlaisia transientti-ilmiösarjoja, jotka ilmenevät sähköstaattisinä läpilyöntinä.
Varsinaista läpilyöntiä kuitenkin edeltää mitattavissa oleva raon vuotovirran kasvu.

Teoriaosiossa käydään läpi läpilyöntiä edeltäviä prosesseja sekä tapoja muuttaa kapasitiivisen raon maksimiläpilyöntijännitettä.
Oslon pääjohtopäätös on se, että 5µm kapeammassa raossa kaasun vaikutus on olematon ja läpilyöntikestävyyden määrittää elektroniemissio, joka on hyvin tunnettu ilmiö tyhjiölaitteiden yhteydessä.

Kokeellisia mittauksia varten on rakennettu tietokoneohjattu mittausjärjestelmä, jolla pystytään mittaamaan komponentin läpilyöntiä edeltävät virta-jännite - ominaisuudet virran olleessa 10-11 - 10-12 A.
Laitteisto pystyy myös muuttamaan raon leveyttä sekä komponentin lämpötilaa.

Kokeet eivät paljastaneet ainoastaan läpilyöntiprosessin perusperiaatteita mikrometrikokoisessa raossa, vaan myös katodipinnan topografian tärkeän roolin.
Yksi tärkeimmistä tämän työn tuloksista on se, että mikroskooppisen raon jännitekestokykyä voidaan parantaa jo valmiin komponentin osalta käyttämällä erilaisia elektrodin sähköisiä pintakäsittelytekniikoita, esimerkiksi asettamalla elektrodien väliin jännite, joka on tarpeeksi korkea käynnistämään läpilyöntiä edeltävät prosessit mutta silti liian matala aiheuttaakseen läpilyönnin.
ED:2006-01-19
INSSI record number: 30521
+ add basket
« previous | next »
INSSI