search query: @keyword electrical breakdown / total: 3
reference: 2 / 3
Author: | Chekurov, Nikolai |
Title: | Prebreakdown processes in capacitive microsystems |
Läpilyöntiä edeltävät prosessit mikrosysteemeissä | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2005 |
Pages: | 66+11 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Optiikka ja molekyylimateriaalit (S-129) |
Supervisor: | Tittonen, Ilkka |
Instructor: | Koskenvuori, Mika |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | electrical breakdown MEMS capacitive microsystems electron emission electrode conditioning sähkön läpilyönti MEMS kapasitiiviset mikrosysteemit elektroniemissio elektrodin sähköinen pinnankäsittely |
Abstract (fin): | Elektroniikan miniatyrisointi ja mikrosysteemit ovat tuoneet mukanaan joukon ilmeisiä etuja, mutta myös uusia haasteita mikroskaalan fysikaalisten ilmiöiden hallinnassa. Usein kytkentä lukuelektroniikan ja kolmiulotteisen mikromekaanisen komponentin välillä toteutetaan liikkuvan elektrodin avulla, joka on osa kondensaattoria. DC - ja AC - eksitointijännitteet aiheuttavat varsin voimakkaita sähkökenttiä mikrometrikokoisessa kytkentäraossa ja saavat aikaan monenlaisia transientti-ilmiösarjoja, jotka ilmenevät sähköstaattisinä läpilyöntinä. Varsinaista läpilyöntiä kuitenkin edeltää mitattavissa oleva raon vuotovirran kasvu. Teoriaosiossa käydään läpi läpilyöntiä edeltäviä prosesseja sekä tapoja muuttaa kapasitiivisen raon maksimiläpilyöntijännitettä. Oslon pääjohtopäätös on se, että 5µm kapeammassa raossa kaasun vaikutus on olematon ja läpilyöntikestävyyden määrittää elektroniemissio, joka on hyvin tunnettu ilmiö tyhjiölaitteiden yhteydessä. Kokeellisia mittauksia varten on rakennettu tietokoneohjattu mittausjärjestelmä, jolla pystytään mittaamaan komponentin läpilyöntiä edeltävät virta-jännite - ominaisuudet virran olleessa 10-11 - 10-12 A. Laitteisto pystyy myös muuttamaan raon leveyttä sekä komponentin lämpötilaa. Kokeet eivät paljastaneet ainoastaan läpilyöntiprosessin perusperiaatteita mikrometrikokoisessa raossa, vaan myös katodipinnan topografian tärkeän roolin. Yksi tärkeimmistä tämän työn tuloksista on se, että mikroskooppisen raon jännitekestokykyä voidaan parantaa jo valmiin komponentin osalta käyttämällä erilaisia elektrodin sähköisiä pintakäsittelytekniikoita, esimerkiksi asettamalla elektrodien väliin jännite, joka on tarpeeksi korkea käynnistämään läpilyöntiä edeltävät prosessit mutta silti liian matala aiheuttaakseen läpilyönnin. |
ED: | 2006-01-19 |
INSSI record number: 30521
+ add basket
INSSI