search query: @keyword PEALD / total: 3
reference: 3 / 3
« previous | next »
Author: | Ervasti, Samuli |
Title: | Plasman käyttö atomikerroskasvatuksessa |
Publication type: | Bachelor's thesis |
Publication year: | 2008 |
Pages: | 17 + 4 Language: fin |
Department/School: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
Main subject: | Elektroniikka (S3027) |
Supervisor: | Heine, Pirjo |
Instructor: | Bosund, Markus |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305166173 |
Location: | |
Keywords: | plasma atomikerroskasvatus ALD plasmakäyttöinen atomikerroskasvatus PEALD |
ED: | 2009-03-25 |
INSSI record number: 36956
+ add basket
« previous | next »
INSSI