search query: @keyword flexural strength / total: 3
reference: 1 / 3
« previous | next »
Author: | Lapinsuo, Sakari |
Title: | Thin film coatings by atomic layer deposition for improvement of the flexural strength of glass |
Atomikerroskasvatuksella valmistettujen ohutkalvopinnoitteiden käyttö lasin taivutuslujuuden parantamisessa | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2013 |
Pages: | vii + 62 Language: eng |
Department/School: | Mikro- ja nanotekniikan laitos |
Main subject: | Mikro- ja nanotekniikka (S3010) |
Supervisor: | Tittonen, Ilkka |
Instructor: | Jylhä, Olli |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201307137203 |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark Aalto 959 | Archive |
Keywords: | ALD atomic layer deposition glass strengthening reinforcement aluminum oxide Al2O3 ball-on-ring BOR 4PB bending test flexural strength lasi vahvistaminen alumiinioksidi taivutustesti taivutuslujuus |
Abstract (eng): | This work is a study of glass strengthening by atomic layer deposition (ALD) conducted at the cleanroom facilities of Beneq Oy in Espoo, Finland. Optimization of ALD process parameters was preceded by an investigation of best practices for testing glass, including but not limited to cutting, washing, lamination, and exural testing (including reliability analysis) of glass. Glass substrates were encapsulated primarily with Al2O3 lms using trimethylaluminum (TMA) and H2O as precursors. The e ect of lm thickness (between 5-100nm) and reaction temperature (100-475°C) on glass strength was studied by standardized bending tests. Film thickness and uniformity were veri ed by ellipsometry. The results indicated that atomic layer deposition, partly due to its reliability, repeatability, and layer thickness conformity even in large batches can be used to strengthen glass for industrial scale applications. The amount of improvement in strength is largely dependent on the type of glass and its pre-ALD treatment. While little improvement was achieved with chemically strengthened glass, glass without chemical strengthening showed in most cases very good or at least signi cant improvement depending on the applied test method, type of glass and the meter used for comparison. |
Abstract (fin): | Tämä työ käsittelee Beneq Oy:n Espoon puhdastiloissa tehtyä tutkimusta lasin vahvistamisesta atomikerroskasvatusmenetelmällä. Ohutkalvojen kasvatuksen optimointia edelsi selvitys parhaista toimintatavoista lasin lujuuden testaamisessa, johon liittyy mm. lasin leikkaaminen, peseminen, laminointi, ja taivutuslujuuden selvittäminen (ml. luotettavuusanalyysi). Erityyppisten lasikappaleiden pinnoille kasvatettiin pääasiassa trimetyylialumiinista (TMA) ja vedestä tehtyä alumiinioksidia (Al2O3). Ohutkalvojen paksuuden (5-100nm) sekä niiden kasvatusprosessilämpötilan (100-475°C) vaikutusta lasin lujuuteen tutkittiin standardoiduilla taivutuskokeilla. Kalvojen paksuudet ja niiden konformaalisuus mitattiin ellipsometrilla. Tutkimuksen tulokset osoittivat, että atomikerros kasvatusta voidaan käyttää lasin vahvistuksessa teollisessakin mittakaavassa mm. sen luotettavuuden, toistettavuuden, ja ohutkalvon konformaalisuuden ansiosta. Vahvistuksen määrä riippuu pitkälti lasityypistä ja lasin esikäsittelystä. Kemiallisesti vahvistettua lasia saatiin vahvistettua vain jonkin verran, mutta sen sijaan kemiallisesti vahvistamaton lasi vahvistui entisestään suurimmassa osassa tapauksia vähintäänkin merkittävästi, riippuen testausmenetelmästä, lasityypistä, ja vertailumittarista. |
ED: | 2013-12-02 |
INSSI record number: 48050
+ add basket
« previous | next »
INSSI