search query: @keyword SOI / total: 31
reference: 4 / 31
| Author: | Carlstedt, Ilkka |
| Title: | Mikromekaanisen resonaattorin suunnittelu |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2011 |
| Pages: | 20 Language: fin |
| Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Main subject: | Sähkötekniikka (S3026) |
| Supervisor: | Turunen, Markus |
| Instructor: | Aaltonen, Lasse |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162449 |
| Location: | |
| Keywords: | resonaattori suunnitteluprosessi MEMS SOI säädettävyys |
| ED: | 2011-12-19 |
INSSI record number: 43570
+ add basket
INSSI