search query: @keyword SOI / total: 31
reference: 3 / 31
« previous | next »
Author:Pärnänen, Tuomas Oskari
Title:Z-akselin suuntaan mittaavan kapasitiivisen MEMS-kiihtyvyysanturin suunnittelu SOI-tekniikalla
Publication type:Bachelor's thesis
Publication year:2011
Pages:21      Language:   fin
Department/School:Sähkötekniikan korkeakoulu
Degree programme:Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma
Main subject:Elektroniikka   (S3027)
Supervisor:Turunen, Markus
Instructor:Aaltonen, Lasse
Electronic version URL: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162451
Location:  
Keywords:MEMS
kiihtyvyysanturi
kapasitiivinen
z-akseli
SOI
ED:2011-12-19
INSSI record number: 43572
+ add basket
« previous | next »
INSSI