search query: @keyword SOI / total: 31
reference: 3 / 31
| Author: | Pärnänen, Tuomas Oskari |
| Title: | Z-akselin suuntaan mittaavan kapasitiivisen MEMS-kiihtyvyysanturin suunnittelu SOI-tekniikalla |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2011 |
| Pages: | 21 Language: fin |
| Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Main subject: | Elektroniikka (S3027) |
| Supervisor: | Turunen, Markus |
| Instructor: | Aaltonen, Lasse |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162451 |
| Location: | |
| Keywords: | MEMS kiihtyvyysanturi kapasitiivinen z-akseli SOI |
| ED: | 2011-12-19 |
INSSI record number: 43572
+ add basket
INSSI