search query: @keyword ALD / total: 38
reference: 35 / 38
| Author: | Vara, Vilja |
| Title: | Atomikerroskasvatus nanorakenteiden valmistuksessa |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2008 |
| Pages: | 20 Language: fin |
| Department/School: | Kemian ja materiaalitieteiden tiedekunta |
| Degree programme: | Kemian tekniikan tutkinto-ohjelma |
| Main subject: | Kemia (KE3001) |
| Supervisor: | Nordström, Katrina |
| Instructor: | Myllymäki, Pia |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201303141726 |
| Location: | |
| Keywords: | ALD nanorakenne nanoputki nanohuokoinen materiaali biomolekyyli |
| ED: | 2008-08-27 |
INSSI record number: 36162
+ add basket
INSSI