search query: @keyword ALD / total: 38
reference: 20 / 38
| Author: | Kilpi, Olli-Pekka |
| Title: | Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2012 |
| Pages: | 30 Language: fin |
| Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Main subject: | Sähköfysiikka (S3025) |
| Supervisor: | Turunen, Markus |
| Instructor: | Perros, Alexander |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162877 |
| Location: | |
| Keywords: | Atomikerroskasvatus ALD TiO2 lämpötila |
| ED: | 2012-07-04 |
INSSI record number: 44839
+ add basket
INSSI