search query: @keyword ALD / total: 38
reference: 20 / 38
Author: | Kilpi, Olli-Pekka |
Title: | Lämpötilan vaikutus TiO2 ohutkalvon rakenteeseen atomikerroskasvatuksessa |
Publication type: | Bachelor's thesis |
Publication year: | 2012 |
Pages: | 30 Language: fin |
Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
Main subject: | Sähköfysiikka (S3025) |
Supervisor: | Turunen, Markus |
Instructor: | Perros, Alexander |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162877 |
Location: | |
Keywords: | Atomikerroskasvatus ALD TiO2 lämpötila |
ED: | 2012-07-04 |
INSSI record number: 44839
+ add basket
INSSI