search query: @keyword ALD / total: 38
reference: 14 / 38
| Author: | Palmumäki, Pirkka-Ilari |
| Title: | Atomikerroskasvatus |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2014 |
| Pages: | 21 Language: fin |
| Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Main subject: | Sähkötekniikka (S3026) |
| Supervisor: | Turunen, Markus |
| Instructor: | Pyymaki Perros, Alexander |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201401091063 |
| Location: | |
| Keywords: | atomikerroskasvatus ald peald alumiinioksidi ald-sovellukset |
| ED: | 2014-01-19 |
INSSI record number: 48374
+ add basket
INSSI