search query: @keyword SU-8 / total: 4
reference: 4 / 4
« previous | next »
Author: | Piirainen, Tommi |
Title: | Fabrication of thermally insulated micromechanical structures |
Termisesti eristettyjen mikromekaanisten rakenteiden valmistus | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2004 |
Pages: | vii + 66 s. + liitt. 9 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | Franssila, Sami |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | Bolometer thermally insulated structures free-standing structures silicon-rich silicon nitride vastusanturi termisesti eristetyt rakenteet itsekantavat rakenteet piirikaspiinitridi SU-8 |
Abstract (fin): | Tässä työssä on valmistettu radiotaajuinen tehosensori. Työssä tutkittiin jännitysvapaan kromin kasvatusta sputterointilaitteella ja piinitridin kasvatusta matalan paineen kaasufaasimenetelmällä, tarkoituksena valmistaa itsekantavia rakenteita. Jännitysvapaan piinitridi ja kromi prosesseilla valmistettiin piinitridi siltoja ja piinitridin ja kromin kerrosrakenteisia siltoja. Lopullinen teho sensori tehtiin kuitenkin eristävän SU-8 kalvon päälle, koska sen valmistaminen oli helpompaa. Kromin ja piinitridin jännityksiä mitattiin jännitysanalysaattorilla ja ohutkalvojen jännitykset minimoitiin lämpötilan, paineen ja sähkötehon avulla sputteroinnissa ja lämpötilan, paineen ja kaasujen virtaussuhteen avulla kaasufaasikasvatuksessa. Plasma-aktivoitu kaasufaasikasvatettuja piidioksidi ja piinitridi kalvojen soveltuvuutta syövytysmaskeiksi tutkittiin tetrametyyliammoniumhydroksidi (TMAH) syövytyksellä. Sputteroidun kromin neliöresistanssi mitattiin neljäpistemenetelmällä ja haluttuun neliöresistanssiin päästiin sputterointi aikaa muuttamalla. Vastusanturi kalibroitiin elekronisen lämpölevyn ja nelipistemittarin avulla. Lopuksi teho sensorit sahattiin puolijohdesiruiksi ja anturisirun päälle liimattiin kansisiru kaksikomponentti liimalla. |
ED: | 2005-01-19 |
INSSI record number: 26671
+ add basket
« previous | next »
INSSI