search query: @instructor Härkönen, Kari / total: 4
reference: 3 / 4
Author: | Malm, Jari |
Title: | Vacuum line chemistry in selected atomic layer deposition processes |
Pumppauslinjan kemia eräissä atomikerroskasvatusprosesseissa | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2005 |
Pages: | viii + 74 Language: eng |
Department/School: | Kemian tekniikan osasto |
Main subject: | Epäorgaaninen kemia (Kem-35) |
Supervisor: | Niinistö, Lauri |
Instructor: | Härkönen, Kari ; Nieminen, Minna ; Putkonen, Matti |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305163098 |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TKK 4001 | Archive |
Keywords: | vacuum line atomic layer deposition ALD processes |
Abstract (fin): | Tämän opinnäytteen kirjallisuusosassa esitellään atomikerroskasvatusmenetelmän (ALD) periaatteet ja erityyppiset reaktorit sekä kloridi- syklopentadienyyli- ja amidilähdeaineisiin perustuvien ALD-prosessien tyypilliset piirteet. ALD-reaktorin pumppauslinjassa esiintyvien lähtöaineiden ja reaktiotuotteiden ominaisuuksia tarkastellaan terveysvaikutusten ja myrkyllisyyden sekä laitteistolle aiheutuvien vaikutusten näkökulmasta. Kokeellisessa osassa tarkastellaan atomikerroskasvatuksen kloridilähdeaineista suoritettavien ALD-kasvatusten pintareaktioissa syntyvän HCl-kaasun neutralointia alipaineessa ALD-reaktorin pumppauslinjassa. HCl-pitoisen kaasuvirran käsittelyssä tutkittiin neljää kiinteää, rakeista ja emäksistä absorbenttia - CaCO3:a, CaO:a, NaOH:a ja NaOH:11a kyllästettyä aktiivihiiltä - sekä käsittelemätöntä aktiivihiiltä, jonka toiminta perustuu fysikaaliseen adsorptioon. Kokeet suoritettiin kahdessa osassa: Aluksi materiaalit tutkittiin pienessä ALD-reaktorin pumppauslinjan olosuhteita jäljittelevässä laitteessa sekä myöhemmin suuremmassa koelaitteessa, joka oli liitetty ALD-reaktoriin. HCl-pitoinen poistokaasuvirta tuotettiin runsaasti HC1:a tuottavan ALD-reaktion avulla. Absorbenttimateriaalien tehokkuus määritettiin absorbenttien massanmuutosten sekä kloridi-ionin potetiometristen titrausten perusteella. Pienessä koelaitteessa suoritettujen kokeiden perusteella voitiin verrata valittujen materiaalien suorituskykyä NaOH:a lukuunottamatta, sillä NaOH-rakeet vettyivät. CaCO3 kykeni neutraloimaan suurimman osan laitteeseen syötetystä HC1:sta, kun taas CaO:n toimintakyky kesti pisimmän ajan. Myös CaO:n kyky käsitellä HCl-kaasua absorbenttimateriaalin massa- tai tilavuusyksikköä kohti oli paras. NaOH-impregnoidun aktiivihiilen käytettävissä oleva reaktiivinen ainemäärä reagoi kaikista täydellisimmin. Käsittelemättömän aktiivihiilen suorituskyky oli kaikilta osin vaatimattomin. Tutkittujen neutralointimateriaalien nähtiin reagoivan tyydyttävästi HC1:n kanssa pienessä koelaitteessa suoritetuissa kokeissa, mutta suuremmassa pilot-mittakaavan laitteessa reaktiivisuus oli hyvin vähäistä. Tämä voi johtua pienen ja pilot-mittakaavan laitteen erilaisista virtausnopeuksista ja kaasuvirran kosteuspitoisuuksista sekä toisistaan poikkeavien laiterakenteiden aiheuttamista eroista kiinteän- ja kaasufaasin vuorovaikutuksissa. |
ED: | 2005-09-26 |
INSSI record number: 29150
+ add basket
INSSI