search query: @instructor Härkönen, Kari / total: 4
reference: 3 / 4
« previous | next »
Author:Malm, Jari
Title:Vacuum line chemistry in selected atomic layer deposition processes
Pumppauslinjan kemia eräissä atomikerroskasvatusprosesseissa
Publication type:Master's thesis
Publication year:2005
Pages:viii + 74      Language:   eng
Department/School:Kemian tekniikan osasto
Main subject:Epäorgaaninen kemia   (Kem-35)
Supervisor:Niinistö, Lauri
Instructor:Härkönen, Kari ; Nieminen, Minna ; Putkonen, Matti
Electronic version URL: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305163098
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TKK  4001   | Archive
Keywords:vacuum line
atomic layer deposition
ALD processes
Abstract (fin):Tämän opinnäytteen kirjallisuusosassa esitellään atomikerroskasvatusmenetelmän (ALD) periaatteet ja erityyppiset reaktorit sekä kloridi- syklopentadienyyli- ja amidilähdeaineisiin perustuvien ALD-prosessien tyypilliset piirteet.
ALD-reaktorin pumppauslinjassa esiintyvien lähtöaineiden ja reaktiotuotteiden ominaisuuksia tarkastellaan terveysvaikutusten ja myrkyllisyyden sekä laitteistolle aiheutuvien vaikutusten näkökulmasta.

Kokeellisessa osassa tarkastellaan atomikerroskasvatuksen kloridilähdeaineista suoritettavien ALD-kasvatusten pintareaktioissa syntyvän HCl-kaasun neutralointia alipaineessa ALD-reaktorin pumppauslinjassa.
HCl-pitoisen kaasuvirran käsittelyssä tutkittiin neljää kiinteää, rakeista ja emäksistä absorbenttia - CaCO3:a, CaO:a, NaOH:a ja NaOH:11a kyllästettyä aktiivihiiltä - sekä käsittelemätöntä aktiivihiiltä, jonka toiminta perustuu fysikaaliseen adsorptioon.
Kokeet suoritettiin kahdessa osassa: Aluksi materiaalit tutkittiin pienessä ALD-reaktorin pumppauslinjan olosuhteita jäljittelevässä laitteessa sekä myöhemmin suuremmassa koelaitteessa, joka oli liitetty ALD-reaktoriin.
HCl-pitoinen poistokaasuvirta tuotettiin runsaasti HC1:a tuottavan ALD-reaktion avulla.
Absorbenttimateriaalien tehokkuus määritettiin absorbenttien massanmuutosten sekä kloridi-ionin potetiometristen titrausten perusteella.

Pienessä koelaitteessa suoritettujen kokeiden perusteella voitiin verrata valittujen materiaalien suorituskykyä NaOH:a lukuunottamatta, sillä NaOH-rakeet vettyivät.
CaCO3 kykeni neutraloimaan suurimman osan laitteeseen syötetystä HC1:sta, kun taas CaO:n toimintakyky kesti pisimmän ajan.
Myös CaO:n kyky käsitellä HCl-kaasua absorbenttimateriaalin massa- tai tilavuusyksikköä kohti oli paras.
NaOH-impregnoidun aktiivihiilen käytettävissä oleva reaktiivinen ainemäärä reagoi kaikista täydellisimmin.
Käsittelemättömän aktiivihiilen suorituskyky oli kaikilta osin vaatimattomin.

Tutkittujen neutralointimateriaalien nähtiin reagoivan tyydyttävästi HC1:n kanssa pienessä koelaitteessa suoritetuissa kokeissa, mutta suuremmassa pilot-mittakaavan laitteessa reaktiivisuus oli hyvin vähäistä.
Tämä voi johtua pienen ja pilot-mittakaavan laitteen erilaisista virtausnopeuksista ja kaasuvirran kosteuspitoisuuksista sekä toisistaan poikkeavien laiterakenteiden aiheuttamista eroista kiinteän- ja kaasufaasin vuorovaikutuksissa.
ED:2005-09-26
INSSI record number: 29150
+ add basket
« previous | next »
INSSI