search query: @keyword SPM / total: 4
reference: 3 / 4
Author: | Seppä, Jeremias |
Title: | Control of an Interferometrically Traceable Metrology Atomic Force Microscope for MIKES |
Interferometrisesti jäljitettävän metrologisen atomivoimamikroskoopin ohjaus | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2007 |
Pages: | xi + 54 Language: eng |
Department/School: | Tietotekniikan osasto |
Main subject: | Informaatiotekniikka (T-61) |
Supervisor: | Oja, Erkki |
Instructor: | Lassila, Antti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark Aalto 6949 | Archive |
Keywords: | SPM nanometrology laser interferometry control microscopy metrology traceability piezo measurement AFM SPM nanometrologia laser interferometria säätö mikroskopia metrologia jäljitettävyys pietso mittaus AFM |
Abstract (fin): | Pyyhkäisymikroskooppien (SPM) kalibrointi vaatii kalibroituja siirtonormaaleja. Joidenkin maiden kansalliset metrologiainstituutit ovat jo rakentaneet laserinterferometrisiä metrologisia atomivoimamikroskooppeja nanometrologisten siirtonormaalien kalibrointiin. Tässä työssä rakennetaan säätöjärjestelmä, mittausohjelmisto ja käyttöliittymä Mittatekniikan keskuksessa (MIKES) kehitetylle 3-D -interferometriselle atomivoimamikroskoopille. Järjestelmä on kehitetty sekä siirtonormaalien kalibrointiin tarjoten jäljitettävyyden metrin määritelmästä siirtonormaaleilla kalibroituihin pyyhkäisymikroskooppeihin, että nanometrologiseen tutkimukseen. Työssä tutkitaan laitteiston koordinaattijärjestelmien, sensorien ja aktuaattoreiden suhteita ja epäideaalisuuksia, ja tämän tiedon pohjalta rakennetaan säätö- ja mittausjärjestelmä joka koostuu ohjelmistosta ja elektroniikasta. Järjestelmän suorituskykyä tutkitaan lähinnä säätösilmukoiden ja mittausnopeuden kannalta. |
ED: | 2007-10-18 |
INSSI record number: 34753
+ add basket
INSSI