search query: @keyword nano / total: 4
reference: 2 / 4
| Author: | Aalto, Mikael |
| Title: | Nanolitografia |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2015 |
| Pages: | 26 Language: fin |
| Department/School: | Sähkötekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma |
| Main subject: | Elektroniikka (S3027) |
| Supervisor: | Turunen, Markus |
| Instructor: | Kakko, Joona-Pekko |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201506303339 |
| Location: | |
| Keywords: | nano litografia ääriultravioletti elektronisuihku nanopainatus |
| ED: | 2015-08-16 |
INSSI record number: 51610
+ add basket
INSSI