search query: @instructor Franssila, Sami / total: 42
reference: 36 / 42
« previous | next »
Author:Piirainen, Tommi
Title:Fabrication of thermally insulated micromechanical structures
Termisesti eristettyjen mikromekaanisten rakenteiden valmistus
Publication type:Master's thesis
Publication year:2004
Pages:vii + 66 s. + liitt. 9      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Elektronifysiikka   (S-69)
Supervisor:Kuivalainen, Pekka
Instructor:Franssila, Sami
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:Bolometer
thermally insulated structures
free-standing structures
silicon-rich silicon nitride
vastusanturi
termisesti eristetyt rakenteet
itsekantavat rakenteet
piirikaspiinitridi
SU-8
Abstract (fin):Tässä työssä on valmistettu radiotaajuinen tehosensori.
Työssä tutkittiin jännitysvapaan kromin kasvatusta sputterointilaitteella ja piinitridin kasvatusta matalan paineen kaasufaasimenetelmällä, tarkoituksena valmistaa itsekantavia rakenteita.
Jännitysvapaan piinitridi ja kromi prosesseilla valmistettiin piinitridi siltoja ja piinitridin ja kromin kerrosrakenteisia siltoja.
Lopullinen teho sensori tehtiin kuitenkin eristävän SU-8 kalvon päälle, koska sen valmistaminen oli helpompaa.

Kromin ja piinitridin jännityksiä mitattiin jännitysanalysaattorilla ja ohutkalvojen jännitykset minimoitiin lämpötilan, paineen ja sähkötehon avulla sputteroinnissa ja lämpötilan, paineen ja kaasujen virtaussuhteen avulla kaasufaasikasvatuksessa.
Plasma-aktivoitu kaasufaasikasvatettuja piidioksidi ja piinitridi kalvojen soveltuvuutta syövytysmaskeiksi tutkittiin tetrametyyliammoniumhydroksidi (TMAH) syövytyksellä.
Sputteroidun kromin neliöresistanssi mitattiin neljäpistemenetelmällä ja haluttuun neliöresistanssiin päästiin sputterointi aikaa muuttamalla.
Vastusanturi kalibroitiin elekronisen lämpölevyn ja nelipistemittarin avulla.

Lopuksi teho sensorit sahattiin puolijohdesiruiksi ja anturisirun päälle liimattiin kansisiru kaksikomponentti liimalla.
ED:2005-01-19
INSSI record number: 26671
+ add basket
« previous | next »
INSSI