search query: @instructor Franssila, Sami / total: 42
reference: 35 / 42
Author: | Saarela, Ville |
Title: | Glass microprocessing for fluidic devices |
Neste- ja kaasukomponentteja mikrotyöstöstämällä lasia | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2006 |
Pages: | 76 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | Franssila, Sami |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | microfabrication microfluidics glass etching bonding nebulizer mikrovalmistus fluidistiikka lasi etsaus bondaus sumutin |
Abstract (fin): | Tämän työn tavoitteena oli kehittää lasikiekkojen mikrotyöstöä ja soveltaa menetelmiä miniatyrisoituun sumuttimeen, joka toimii ionilähteenä massaspektrometrille. Lisäksi sumutinkomponentin ja sen suihkun lämpöominaisuuksia tutkittiin mittaamalla ja tietokonesimulaatioin. Hyvälaatuisia läpireikiä märkäetsattiin 0,5 mm paksuun lasikiekkoon käyttäen LPCVD kasvatettua piiohutkalvoa maskina. Kyseisellä maskikerroksella pistesyöpymien määrä pysyi vähäisenä eikä maskikerroksessa esiintynyt juurikaan lohkeilua. Myös PECVD kasvatettua piiohutkalvoa kokeiltiin lasin märkäetsauksen maskina, mutta se osoittautui täysin kelvottomaksi syviin etsauksiin. Työssä tutkittiin myös kahden lasikiekon yhteen liittämistä yhteensulattamalla 660 °C:ssa sekä anodisesti käyttäen piiohutkalvovälikerrosta. Molemmilla liitostavoilla rajapintaan jäi pieniä kaasukuplia, mutta liitoksen lujuus oli yhteensulattamalla huomattavasti parempi. Anodisesti liitetyt palaset sai lohkaistua irti siististi rajapintaa pitkin, mutta yhteensulatettuja puoliskoja ei voinut erottaa. Diplomityössä toteutettiin erilaisia sumutin-ionilähteitä. Komponentti koostuu kahdesta yhteen liitetystä kiekosta: toiseen kiekkoon on etsattu kanava ja suutin ja toiselle integroitu metallinen lämmitysvastus. Työssä kehitettiin sumuttimelle valmistusprosessi, jossa käytetään kahta lasikiekkoa. Myös aikaisemmin toteutettuun pii- ja lasikiekoista valmistettuun sumuttimeen tehtiin parannuksia. Ionilähteen lämpötila voi nousta käytön aikana jopa 500 °C:een. Komponentin lämpöominaisuuksia tutkittiin erilaisin menetelmin. Komponentin pinnan lämpötilajakaumaa selvitettiin lämpökameralla, jota käytettiin myös suihkun lämpötilajakauman kuvantamiseen. Suihkun lämpötilajakauma mitattiin myös 125µm termoparilla, joka oli kiinnitetty tietokoneohjattuun xyz-tasoon. Suihkua simuloitiin COMSOL Multiphysics ohjelmalla. Simulaatiotuloksien ja mittauksien välillä havaittiin hyvä korrelaatio. |
ED: | 2006-03-31 |
INSSI record number: 31469
+ add basket
INSSI