search query: @supervisor Salomaa, Martti M. / total: 53
reference: 21 / 53
Author: | Pensala, Tuomas |
Title: | Picosecond Ultrasonic Characterization of Thin Films |
Pulssilaserilla synnytettävään ultraääneen perustuva ohutkalvojen karakterisointilaitteisto | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2000 |
Pages: | 53 Language: eng |
Department/School: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto |
Main subject: | Materiaalifysiikka (Tfy-44) |
Supervisor: | Salomaa, Martti M. |
Instructor: | |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TF80 | Archive |
Keywords: | picosecond ultrasonic measurement thin film characterization thickness measurement sound velocity measurement pulssilaser ultraääni ohutkalvo paksuusmittaus äänennopeus |
Abstract (fin): | Alle pikosekunnin mittaisella laserpulssilla voidaan synnyttää lyhyt ultraäänipulssi läpinäkymättömään ohutkalvoon. Pulssin heijastukset näytteen sisäisistä kalvojen rajapinnoista voidaan detektoida aikaerotteisesti viivästämällä samasta lähteestä johdettua laserpulssia ja mittaamalla sen avulla aikariippuvia muutoksia pinnan heijastuskertoimessa tai pinnan liikettä. Aikaresoluutio on alle pikosekunnin luokkaa. Tekniikka on ainetta rikkomaton ja soveltuu läpinäkymättömiin kalvoihin tai rakenteisiin, joissa päällimmäinen kerros on läpinäkymätön ja joiden paksuus vaihtelee muutamasta nanometristä useisiin mikrometreihin. Suoraviivaisimmat sovellukset ovat kalvon paksuuden tai äänennopeuden määritys. Resoluutio paksuudessa on nanometriluokkaa. Tässä työssä esitellään mittaustapahtuman fysiikka ja useita kirjallisuudessa esitettyjä menetelmän sovelluskohteita ja variaatioita. Esitetään algoritmi, joka määrittää monikerroksisessa näytteessä syntyvien moninkertaisten kaikujen viiveet ja vaiheet periaatteessa mielivaltaisissa tapauksissa. Laserpulssin synnyttämä aikariippuva lämpötilajakauma näytteessä lasketaan numeerisesti. Signaalin ja kohinan käyttäytymistä systeemissä analysoidaan. Työssä rakennettiin kokeellinen mittauslaitteisto. Paksuus- ja äänennopeusmittaukset demonstroitiin laitteistolla käyttäen sekä pinnan heijastuskertoimen että liikkeen havaitsevaa mittausjärjestelyä ja tarkoitusta varten valmistettuja koenäytteitä. Kaikujen viiveet määritetään mittausdatasta muutaman prosentin tarkkuudella. Paksuuden ja äänen nopeuden määritykset viiveiden perusteella kärsivät äänennopeuden epävarmuudesta ohutkalvoissa ja tarkan paksuusrefererenssin puutteesta. Esitetään suunnitelma parannetusta mittauslaitteistosta. Parannetulla laitteistolla yhdessä tarkan paksuusmittausmenetelmän kanssa paksuus- ja äänennopeusmittauksissa tulisi yltää muutaman prosentin virhemarginaaliin. |
ED: | 2001-01-15 |
INSSI record number: 16136
+ add basket
INSSI