search query: @supervisor Heine, Pirjo / total: 57
reference: 28 / 57
| Author: | Ervasti, Samuli |
| Title: | Plasman käyttö atomikerroskasvatuksessa |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2008 |
| Pages: | 17 + 4 Language: fin |
| Department/School: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
| Degree programme: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Main subject: | Elektroniikka (S3027) |
| Supervisor: | Heine, Pirjo |
| Instructor: | Bosund, Markus |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305166173 |
| Location: | |
| Keywords: | plasma atomikerroskasvatus ALD plasmakäyttöinen atomikerroskasvatus PEALD |
| ED: | 2009-03-25 |
INSSI record number: 36956
+ add basket
INSSI