search query: @keyword ammoniakki / total: 6
reference: 6 / 6
« previous | next »
Author:Puurunen, Riikka
Title:Alumiininitridin valmistus huokoiselle silikalle atomikerrosepitaksialla
Processing of aluminium nitride on porous silica by atomic layer epitaxy
Publication type:Master's thesis
Publication year:1998
Pages:109      Language:   fin
Department/School:Kemian tekniikan osasto
Main subject:Teknillinen kemia   (Kem-40)
Supervisor:Krause, Outi
Instructor:Haukka, Suvi ; Iiskola, Eero
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TKK  4148   | Archive
Keywords:alumiininitridi
trimetyylialumiini
ammoniakki
ALE
kasvatus
FTIR
Abstract (fin):Diplomityön kirjallisuusosassa kartoitettiin metallinitridien pääasialliset valmistusmenetelmät ja metallinitridien käyttö katalyysissa.
Kaikki valmistusmenetelmätyypit käsiteltiin, mutta erityisen kiinnostuksen kohteena oli ominaispinta-alaltaan suurten metallinitridien valmistus.
Katalyyttikäytössä huomioitiin myös kaikki vasta tutkimuksen alla olevat sovellukset, koska kaupallisia sovelluksia ei metallinitridikatalyyteilla vielä ole.

Kokeellisessa osassa oli tavoitteena kasvattaa huokoisen silikan pintaan alumiininitridikerros atomikerrosepitaksialla (ALE-menetelmä).
Lähtöaineina käytettiin trimetyylialumiinia ja ammoniakkia, joiden toisistaan huuhtelulla erotettuja, kyllästäviä kaasufaasireaktioita vuoroteltiin kantajan pinnalla.
Trimetyylialumiinin reaktiolämpötilana käytettiin 423 K ja ammoniakin reaktiota tutkittiin eri lämpötiloissa välillä 423-673 K.
Useiden kierrosten kasvatuksessa ammoniakin reaktiolämpötilaksi valittiin 673 K.
Ennen reaktioita silika kuumennettiin ilmassa lämpötilassa 1023 tai 473 K reaktiivisten kohtien tyypin ja lukumäärän säätämiseksi.
Pinnat karakterisoitiin alkuainemääritysten ja inertisti mitattujen FTIR-spektrien perusteella.

Alumiininitridin kasvatus huokoisen silikan pintaan onnistui.
Trimetyylialumiinin reaktioiden aikana alumiinin pintatiheys kasvoi tasaisesti keskimäärin 2,3+-0,3 Al/nm[2].
Typpi-alumiini-suhde oli koko kasvatuksen ajan noin yksi, mikä on alumiininitridin (AIN) stoikiometria.
Hiiltä jäi valmistettuun pintaan epäpuhtautena noin 0,8+-0,2 C/nm[2], vaikka hiilipitoisuutta yritettiin pienentää esikäsittelemällä silika ammoniakilla ennen reaktiota.
Alumiininitridipinta oli erittäin herkkä ilmankosteudelle.
Kuumennus typessä lämpötilassa 873 K paransi pinnan kosteudenkestoa.

Alumiininitridikerroksella päällystetyn silikan pintaan kiinnitettiin kaasufaasireaktiolla koboltti(III)asetyyliasetonaattia.
Ligandit poistettiin vedyllä, minkä jälkeen pinnan katalyyttinen aktiivisuus testattiin alustavasti tolueenin hydrauksessa lämpötiloissa 373+-473 K.
Koboltilla modifioitu pinta oli hydrauksessa katalyyttisesti aktiivinen.
ED:1999-02-02
INSSI record number: 13846
+ add basket
« previous | next »
INSSI