search query: @keyword Liukulaakeri / total: 6
reference: 5 / 6
Author: | Martikainen, Juhani |
Title: | Ohutkalvopaineanturin kehittäminen |
Development of a thin-film pressure sensor | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2005 |
Pages: | 57 s. + liitt. 13 Language: fin |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Airila, Mauri ; Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | Valkonen, Antti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | sliding bearing thickness of the film pressure on the film piezoresistive phenomenon thin-film sensor liukulaakeri kalvonpaksuus kalvonpaine pietsoresistiivinen ilmiö ohutkalvoanturi |
Abstract (fin): | Tämän työn tavoitteena oli pietsoresistiivisen ilmiön demonstrointi manganiininimisessä kuparipohjaisessa seoksessa. Ilmiötä tutkittiin sputteroimalla ohut manganiiniviiva erilaisille eristäville alustoille: epoksille, sooli-geelille, DLC:lle ja alumiinioksidille. Alumiinioksidilevyille sputteroiduista viivoista kaksi ensimmäistä olivat pinnoittamattomia ja viimeinen pinnoitettiin alumiinioksidilla käyttäen ALD-menetelmää. Manganiiniviivat testattiin kohdistamalla niihin mekaaninen voima ja kytkemällä ne Wheatstonen siltaan. Wheatstonen sillan napojen välistä jännite-eroa seuraamalla tutkittiin viivojen resistanssin muuttumista voiman funktiona. Epoksin päälle sputteroidusta viivasta ei saatu luettavia tuloksia. Sooli-geelin ja DLC:n päälle sputteroitujen viivojen havaittiin olevan oikosulussa teräksiseen alustaan. Alumiinioksidille sputteroiduista viivoista havaittiin selvä resistanssin muutos kohdistetun voiman funktiona. Etenkin ALD-menetelmällä pinnoitetusta viivasta saatiin terävä vaste voiman muutoksiin. Edellä esitetyn perusteella voitiin todeta, että pietsoresistiivinen ilmiö pystyttiin demonstroimaan, kun manganiiniviiva oli sputteroitu oikeanlaiselle alustalle; alumiinioksidille. Ilmiön demonstroinnin lisäksi voitiin myös todeta manganiinista valmistetun ohutkalvoanturin soveltuvuus korkeiden paineiden mittaamiseen. |
ED: | 2005-12-02 |
INSSI record number: 30048
+ add basket
INSSI