search query: @keyword microsystems / total: 6
reference: 4 / 6
« previous | next »
Author:Härkönen, Aarni
Title:Pii-lasi-komposiittikiekkojen jännitysten ja kaarevuuden käyttäytyminen lämpökäsittelyssä
Behaviour of silicon-glass composite wafers in heath treatment
Publication type:Master's thesis
Publication year:2007
Pages:115 (+12)      Language:   fin
Department/School:Materiaalitekniikan osasto
Main subject:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Supervisor:Lehto, Ari
Instructor:Leinvuo, Joni
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark TKK  92   | Archive
Keywords:microsystems
glass
structural relaxation
viscoelastic relaxation
slow viscous flow
mikrosysteemit
lasi
pystysuora lasieriste
rakenteellinen relaksaatio
viskoelastinen relaksoituminen
hidas viskoosi virtaus
Abstract (fin): Työssä tutkitaan mikrosysteemien valmistuksessa käytettäviä pii-lasi-komposiittikiekkoja ja niihin muodostuvan termisen jännitystilan relaksoitumista lasin rakenteellisen relaksaation ja jännityksen viskoelastisen relaksaation vaikutuksesta korotetuissa lämpötiloissa.
Tässä työssä tutkitaan kahta erilaista pii-lasi-komposiittirakennetta.
Toisessa rakenteessa lasikerros on valmistettu tasaiselle piikiekolle ja toisessa lasikerros täyttää piikiekolle työstetyt syvät pystysuorat urat.

Teoriaosuudessa esitetään työn kannalta tärkeät lasien ja lasia muodostavien nesteiden fysikaaliset ominaisuudet.
Komposiittikiekkoihin muodostuvia jännityksiä ja kaarevuuksia tutkitaan pienen ja suuren muodonmuutoksen teorian kautta.
Jännitysten ja kaarevuuden relaksoitumista korotetuissa lämpötiloissa tutkitaan lasin rakenteellisen relaksaation ja lasin hitaan viskoosin virtauksen seurauksena.

Termisen historian ja tilavuuden rakenteellisen relaksaation vaikutusta lasiin tutkitaan kokeellisesti lasin tiheysmittauksin sekä kaarevuusmittauksin korotetuissa lämpötiloissa.
Lisäksi mitataan pii-lasi-komposiittikiekkojen kaarevuuden muutosta huoneenlämmössä lasitransitioalueen alapuolella suoritettavien isotermisten lämpökäsittelyjen seurauksena.
Piin ja lasin lämpölaajenemien eron aiheuttaman jännitystilan relaksoitumista lasin hitaalla viskoosilla virtauksella tutkitaan teoreettisesti piipinnalla ja piiurassa.

Tulosten perusteella osoitetaan, että työssä tutkitun alkaliboorilasin tiheys riippuu nopeudesta millä muodostunut lasi jäähdytettiin alijäähtyneestä nesteestä.
Lasin ja piin lämpölaajenemien erotukselle havaitaan hystereesiä lämmityssyklillä.
Tämä selitetään lasin tilavuuden rakenteellisella relaksaatiolla.
Tähän pohjautuen osoitetaan teorian ja kokeiden kautta, miten lasitransitioaluetta alemmissa lämpötiloissa suoritettavan hehkutuksen kautta voidaan pienentää yksinkertaisen pii-lasi-komposiittikiekon (tasainen piipinta) kaarevuutta.
Menetelmää ei voida suoraan käyttää kaarevuuden kontrollointiin komposiittikiekolle, jossa on pystysuorat lasiurat.
Tässä tapauksessa kiekon kaarevuus uria kohtisuoraan olevassa suunnassa kasvaa.
ED:2008-09-29
INSSI record number: 36329
+ add basket
« previous | next »
INSSI