search query: @keyword microsystems / total: 6
reference: 4 / 6
Author: | Härkönen, Aarni |
Title: | Pii-lasi-komposiittikiekkojen jännitysten ja kaarevuuden käyttäytyminen lämpökäsittelyssä |
Behaviour of silicon-glass composite wafers in heath treatment | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2007 |
Pages: | 115 (+12) Language: fin |
Department/School: | Materiaalitekniikan osasto |
Main subject: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Supervisor: | Lehto, Ari |
Instructor: | Leinvuo, Joni |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TKK 92 | Archive |
Keywords: | microsystems glass structural relaxation viscoelastic relaxation slow viscous flow mikrosysteemit lasi pystysuora lasieriste rakenteellinen relaksaatio viskoelastinen relaksoituminen hidas viskoosi virtaus |
Abstract (fin): | Työssä tutkitaan mikrosysteemien valmistuksessa käytettäviä pii-lasi-komposiittikiekkoja ja niihin muodostuvan termisen jännitystilan relaksoitumista lasin rakenteellisen relaksaation ja jännityksen viskoelastisen relaksaation vaikutuksesta korotetuissa lämpötiloissa. Tässä työssä tutkitaan kahta erilaista pii-lasi-komposiittirakennetta. Toisessa rakenteessa lasikerros on valmistettu tasaiselle piikiekolle ja toisessa lasikerros täyttää piikiekolle työstetyt syvät pystysuorat urat. Teoriaosuudessa esitetään työn kannalta tärkeät lasien ja lasia muodostavien nesteiden fysikaaliset ominaisuudet. Komposiittikiekkoihin muodostuvia jännityksiä ja kaarevuuksia tutkitaan pienen ja suuren muodonmuutoksen teorian kautta. Jännitysten ja kaarevuuden relaksoitumista korotetuissa lämpötiloissa tutkitaan lasin rakenteellisen relaksaation ja lasin hitaan viskoosin virtauksen seurauksena. Termisen historian ja tilavuuden rakenteellisen relaksaation vaikutusta lasiin tutkitaan kokeellisesti lasin tiheysmittauksin sekä kaarevuusmittauksin korotetuissa lämpötiloissa. Lisäksi mitataan pii-lasi-komposiittikiekkojen kaarevuuden muutosta huoneenlämmössä lasitransitioalueen alapuolella suoritettavien isotermisten lämpökäsittelyjen seurauksena. Piin ja lasin lämpölaajenemien eron aiheuttaman jännitystilan relaksoitumista lasin hitaalla viskoosilla virtauksella tutkitaan teoreettisesti piipinnalla ja piiurassa. Tulosten perusteella osoitetaan, että työssä tutkitun alkaliboorilasin tiheys riippuu nopeudesta millä muodostunut lasi jäähdytettiin alijäähtyneestä nesteestä. Lasin ja piin lämpölaajenemien erotukselle havaitaan hystereesiä lämmityssyklillä. Tämä selitetään lasin tilavuuden rakenteellisella relaksaatiolla. Tähän pohjautuen osoitetaan teorian ja kokeiden kautta, miten lasitransitioaluetta alemmissa lämpötiloissa suoritettavan hehkutuksen kautta voidaan pienentää yksinkertaisen pii-lasi-komposiittikiekon (tasainen piipinta) kaarevuutta. Menetelmää ei voida suoraan käyttää kaarevuuden kontrollointiin komposiittikiekolle, jossa on pystysuorat lasiurat. Tässä tapauksessa kiekon kaarevuus uria kohtisuoraan olevassa suunnassa kasvaa. |
ED: | 2008-09-29 |
INSSI record number: 36329
+ add basket
INSSI