search query: @supervisor Määttänen, Mauri / total: 64
reference: 13 / 64
Author: | Pietikäinen, Sami |
Title: | Kapasitiivisen mikroanturin lämpötilariippuvuuden minimointi |
Minimization of the capacitance temperature dependency in a micromechanical sensor | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2002 |
Pages: | 68 s. + liitt. Language: fin |
Department/School: | Konetekniikan osasto |
Main subject: | Lujuusoppi (Kul-49) |
Supervisor: | Määttänen, Mauri |
Instructor: | Lahdenperä, Juha ; Santaoja, Kari |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark TKK 5599 | Archive |
Keywords: | micromechanics temperature dependency silicon-glass seals FEM mikromekaniikka lämpötilariippuvuus pii-lasi-liitos |
Abstract (fin): | Tässä opinnäytetyössä pyritään parantamaan kapasitiiviseen mittaustekniikkaan perustuvan kiihtyvyysanturin suorituskykyä minimoimalla aktiivikapasitanssin suhteellinen lämpötilariippuvuus. Lämpötilan muuttuessa rakenteessa tapahtuu materiaalien pituuden lämpötilakertoimien eroista johtuvia muodonmuutoksia, joita pyritään hallitsemaan lasikerroksen rakenteellisilla muutoksilla. Lasikerroksen vaikutusta kiihtyvyysanturin termomekaaniseen käyttäytymiseen pyritään selvittämään teoreettisen tarkastelun lisäksi simuloimalla sekä kokeellisten testien avulla. Mallinnusosuudessa pyritään selvittämään porraslasirakenteen lasikerrospaksuuksien optimaalisia arvoja aktiivikapasitanssin lämpötilariippuvuuden minimoimiseksi. Kokeellisessa osuudessa vertaillaan perinteisiä anturirakenteita näytteisiin, jotka on valmistettu uudella porraslasitekniikalla. Kokeellisessa osuudessa antureiden suorituskykyä mitataan myös niiltä osin, mitä ei simuloinneissa ollut mahdollista toteuttaa. Vertailemalla kokeellisia ja simuloitujen mallien antamia tuloksia keskenään pyritään verifioimaan elementtimenetelmän käytettävyyttä MEMS-rakenteiden simuloinneissa tulevien tuotekehityshankkeiden edistämiseksi. Tulokset porraslasirakenteen käyttäytymisestä sekä simuloinnin että kokeellisen työn perusteella olivat erittäin rohkaisevia. Tietyillä rakenteilla saavutetaan aktiivikapasitanssin osalta jopa negatiivinen lämpötilariippuvuus, joten riippuvuuden säätäminen nollaan on myös mahdollista. Rakennemuutoksen tuotannollisia vaatimuksia ei vielä tunneta, mutta tiedetään että kiihtyvyysanturin porraslasirakenne on perinteistä rakennetta herkempi epäsymmetrialle. Valmistustoleranssien selvittäminen vaatii laajempaa kokeellista osuutta eli uusien näytteiden valmistamista ja testaamista. |
ED: | 2002-05-21 |
INSSI record number: 18566
+ add basket
INSSI