search query: @keyword capacitive sensor / total: 7
reference: 6 / 7
« previous | next »
Author:Väisäsvaara, Juha
Title:Charging effects in capacitive MEMS
Varautumisilmiöt kapasitiivisissa MEMS-rakenteissa
Publication type:Master's thesis
Publication year:2004
Pages:ix + 102      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Koskenvuori, Mika
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:capacitive sensor
electrical breakdown
emission
MEMS
microgap
vacuum breakdown
mikromekaniikka
emissio
läpilyönti
tyhjiöläpilyönti
kapasitiivinen anturi
pienet etäisyydet
Abstract (fin):Tässä työssä tutkittiin varautumisilmiötä ja niistä johtuvia läpilyöntejä kapasitiivisissa MEMS (micro-electro-mechanical structures) rakenteissa.
Työssä tutkittiin myös kirjallisuusselvityksenä erilaisia mikromekaanisten rakenteiden kuvaamis- ja analysointimenetelmiä, joita voitaisiin mahdollisesti käyttää lisätiedon hankkimiseksi läpilyönti-ilmiöistä.

Teoriaosiossa käydään läpi läpilyönti-ilmiöön liittyvät oleelliset näkökohdat ja yritetään luoda kokonaiskuva rakenteissa vaikuttavista ilmiöistä nykytiedon valossa.
Myös viimeisimmät hypoteesit läpilyöntiprosessin syille ja läpilyönnin etenemiselle on pyritty esittämään.

Työssä mitattiin useiden kapasitiivisten paineantureiden virtajännite-käyttäytymistä.
Mittauksista voitiin todeta emissio-ilmiö kyseisissä rakenteissa ennen läpilyöntiä ja läpilyönnin aiheuttama materiaalin kasaantuminen/siirtyminen.
Mittauksissa tutkittiin myös polariteetin vaikutusta emissioon ja läpilyöntiin, läpilyönnin ennakointia ja emissiovirtaa.
ED:2005-01-18
INSSI record number: 26661
+ add basket
« previous | next »
INSSI