search query: @instructor Svensk, Olli / total: 7
reference: 7 / 7
« previous | next »
Author:Törmä, Pekka
Title:Galliumnitridi- ja alumiinigalliumnitridipohjaisten laserrakenteiden prosessointi ICP-menetelmällä
ICP processing of gallium nitride and aluminium gallium nitride for laser structures
Publication type:Master's thesis
Publication year:2006
Pages:vi + 73      Language:   fin
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Optoelektroniikka   (S-104)
Supervisor:Lipsanen, Harri
Instructor:Svensk, Olli
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:gallium nitride
aluminium gallium nitride
etching
semiconductor laser
galliumnitridi
alumiinigalliumnitridi
ICP
etsaus
puolijohdelaser
SEM
Abstract (fin): Tässä diplomityössä tutkittiin galliumnitridin ja alumiinigalliumnitridin prosessointia induktiivisesti kytketyllä plasmaetsauksella (ICP) laserrakenteiden valmistamista varten.
Työ tehtiin Teknillisen korkeakoulun Optoelektroniikan laboratoriossa.
Etsattujen rakenteiden profiilien ja pinnan morfologian tutkimiseen käytettiin elektronimikroskooppia, atomivoimamikroskooppia ja profilometria.

Pientenkin etsauskammion happipitoisuuksien havaittiin aiheuttavan epätasaisen etsatun pinnan A1GaN:a etsattaessa.
Tästä johtuen piidioksidimaski ei sovellu alumiinia sisältävien rakenteiden etsaukseen.
Nikkelimaskia voidaan käyttää sekä GaN:n että A1GaN:n kanssa.

GaN-seinämien todettiin etsautuvan tasaisesti C12/Ar-plasmalla.
Korkealaatuisia A1GaN-rakenteita etsattaessa C12/Ar-plasmaan on lisättävä joko BC13:a tai SiC14:a estämään epätasaisen pinnan syntymistä.
Prosessoiduilla A1GaN-näytteillä (alumiinipitoisuus 16 %) BC13:n kaasuvirtauksen osuuden oli oltava vähintään 20 % C12:n ja BC13:n virtausten yhteismäärästä.
SiC14:n tapauksessa tarvittava virtausosuus oli vähintään 6,7 %.

Prosessiparametrit lämpötilalle, paineelle, ionienergialle ja plasmatiheydelle määriteltiin suuren etsausnopeuden ja tasaisten etsausprofiilien saavuttamiseksi.
Optimoidulla prosessilla valmistettiin optisesti pumpattu 400 nm aallonpituudella toimiva GaN-pohjainen puolijohdelaser.
ED:2006-02-27
INSSI record number: 30674
+ add basket
« previous | next »
INSSI