search query: @keyword metrologia / total: 7
reference: 4 / 7
« previous | next »
Author:Kaasalainen, Jussi
Title:Mikromekaanisen kapasitiivisen anturin suorakaideaaltoherätteeseen perustuva tasajännitenormaali ja mittausjärjestelmä
DC voltage standard and measurement system based on square wave escitation of a micromechanical capacitive sensor
Publication type:Master's thesis
Publication year:2008
Pages:(9) + 53      Language:   fin
Department/School:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Main subject:Elektronifysiikka   (S-69)
Supervisor:Sinkkonen, Juha
Instructor:Manninen, Antti
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:metrology
voltage standard
MEMS
accelerometer
PI control
metrologia
jännitenormaali
MEMS
kiihtyvyysanturi
PI-säätö






























Abstract (fin): Jännitemetrologiassa on tarvetta tasajännitenormaalille, jonka tarkkuus ja kohinaominaisuudet ovat paremmat kuin nyt käytössä olevilla korkealuokkaisilla zenerdiodeilla ja valmistus- ja käyttökustannukset toisaalta olennaisesti pienemmät kuin Josephson-liitossarjoihin perustuvilla laitteistoilla, jotka ovat tarkimpia tunnettuja jännitenormaaleita.
Myös kaupallisissa sovelluksissa sekä teollisuuden käyttämissä elektronisissa laitteissa on esiintynyt tarvetta tarkemmille ja edullisille referenssijännitteille.

Mikroelektromekaanisen (MEMS) tasokondensaattorin eräs ominaisuus on se, että sen kapasitanssi riippuu kondensaattorin liikkuvan ja liikkumattoman levyn välisestä jännitteestä.
Näihin MEMS-tasokondensaattorin karakteristisiin ominaisuuksiin perustuvalla jännitenormaalilla on potentiaalisesti mahdollista saavuttaa zenerdiodeita parempi tarkkuus.
Tulevaisuudessa valmiin jännitenormaalilaitteiston käytettävyys ja sovellukseen implementointi ovat yhtä yksinkertaista kuin zenerdiodeilla, laitteiston hinta ja koko ovat kuitenkin todennäköisesti pienemmät.

Tässä työssä tutkittiin MEMS-kondensaattorin suorakaideaaltomuotoiseen vaihtojänniteherätteeseen perustuvan tasajännitenormaalin pitkän aikavälin stabiilisuutta.
Vaihtojännitteen käytöllä pyrittiin estämään MEMS-kondensaattorin rajapinnoissa ja oksidikerroksissa tyypillisesti esiintyvien hitaiden varautumisilmiöiden haitallista vaikutusta.
Teoriaosassa on esitetty olennaisimmat MEMS-kondensaattorin ominaisuudet sekä jännitenormaalin toteuttavan laitteiston toimintaperiaate.

Jännitenormaalin stabiilisuuden tutkimiseksi konstruoitiin takaisinkytkentään ja PI-säätöön perustuva elektroniikka ja tietokoneohjelmisto sekä mittauslaitteisto.
MEMS-kondensaattorina käytettiin tavanomaista kapasitiivista kiihtyvyysanturia.
ED:2008-07-29
INSSI record number: 35915
+ add basket
« previous | next »
INSSI