search query: @keyword metrologia / total: 7
results-list
reference: 1 / 7
« previous | next »
Author:Saali, Aapo
Title:MEMS-based AC voltage reference
MEMSiin perustuva vaihtojännitereferenssi
Publication type:Master's thesis
Publication year:2016
Pages:(9) + 59      Language:   eng
Department/School:Sähkötekniikan korkeakoulu
Main subject:Micro and Nanosciences   (S3037)
Supervisor:Tittonen, Ilkka
Instructor:Manninen, Antti ; Immonen, Pekka
Electronic version URL: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201612226213
Location:P1 Ark Aalto  6763   | Archive
Keywords:voltage reference
MEMS
current-driven system
metrology
accelerometer
metrologia
jännitereferenssi
virtaohjattu järjestelmä
kiihtyvyysanturi
Abstract (eng):In this thesis, the focus is on a microelectromechanical system (MEMS) based AC voltage reference implemented with digital control electronics.
In the theory part, the working principle of the MEMS-based AC voltage reference is described.
The voltage reference is based on the pull-in voltage of the MEMS-capacitor.
The voltage over the capacitor plates at the pull-in point is stable over time and, therefore, can be used as a reference voltage.
The MEMS-capacitor is kept in the pull-in point by using charge control.
In measurements and results, the focus is on finding and solving the stability issues that the device has.
Temperature, pressure, and humidity dependencies, and the issues with insulation and grounding of the measurement electronics are covered.
These issues affect the stability of the reference voltage and, therefore, need to be addressed.
Abstract (fin):Tässä työssä keskityttiin mikroelektromekaaniseen systeemiin (MEMS) pohjautuvaan vaihtojännitereferenssiin.
Teoriaosuudessa käydään läpi MEMS jännitereferenssin toimintaperiaate.
Jännitereferenssin toiminta perustuu MEMS-kondensaattorin pull-in-jännitteeseen.
Pull-in-pisteessä kondensaattorin levyjen välinen jännite pysyy vakiona ajan suhteen, jolloin tätä jännitettä voidaan näin ollen käyttää referenssijännitteenä.
MEMS-kondensaattoria pidetään pull-in-pisteessä virtaohjauksen avulla, joka on toteutettu käyttäen digitaalielektroniikkaa.
Mittauksissa keskitytään referenssin jännitteen stabiilisuuteen vaikuttaviin ympäristötekijöihin, kuten lämpötila-, paine- ja ilmankosteusriippuvuuteen.
Lisäksi tarkastellaan elektroniikan maadoitusongelmia ja eristämistä, jotka vaikuttavat referenssijännitteen stabiilisuuteen.
ED:2017-01-08
INSSI record number: 55252
+ add basket
« previous | next »
INSSI