search query: @keyword Timantinkaltainen hiili / total: 8
reference: 8 / 8
« previous | next »
Author: | Kokkala, Ville |
Title: | Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen plasma-avusteinen kasvatusprosessi |
Plasma enhanced deposition process for diamond-like carbon coating | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2003 |
Pages: | 78 Language: fin |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Elektronifysiikka (S-69) |
Supervisor: | Kuivalainen, Pekka |
Instructor: | Mutikainen, Risto |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | diamond-like-carbon DLC PECVD nanoindentation timantinkaltainen hiili DLC PECVD nanoindentointi |
Abstract (fin): | Tässä diplomityössä esitellään optimoitu prosessi timantinkaltaisen hiilipinnoitteen (DLC) kasvattamiseen radiotaajuusplasman avulla. DLC:n käyttötarkoitus on toimia kulumista estävänä pinnoitteena mikroelektromekaanisissa kiihtyvyysantureissa. Prosessiin kuuluu olennaisena osana myös kasvatuslaitteen automatisoitu puhdistus, joka optimoidaan nopeuden ja pinnoitettaville kiekoille kertyvien epäpuhtauksien suhteen. Kirjallisuusosassa käydään läpi DLC-pinnoitteen monimutkaisen rakenteen ja kasvatusparametrien merkityksen tutkimuksessa erityisesti viime vuosina saavutettuja tuloksia. Pinnoitteen ominaisuuksien mittausmenetelmiä arvioidaan tuotannon laadunvalvonnan kannalta, ja pinnoitteen vetypitoisuuden aiheuttamia mittausteknisiä erityispiirteitä tuodaan esille. Puhdistus- ja kasvatusprosessin optimoinnissa hyödynnettiin tilastollista koesuunnittelua sekä muita tilastollisen analyysin työkaluja. Mittauksissa käytettiin useita mekaanisia ja optisia menetelmiä sekä malleja, joista osa on kehitetty erityisesti DLC:tä varten. Työn tulokset vastaavat kalvon ominaisuuksien osalta aiemmin julkaistuja tutkimuksia, joskin parametrien vaihtelualue jouduttiin pitämään melko suppealla tuotannollisuusvaatimuksen vuoksi. Automaattisen puhdistuksen tehokkuutta saatiin parannettua huomattavasti, ja epäpuhtauksien määrä aleni noin 98 %. |
ED: | 2003-09-15 |
INSSI record number: 19964
+ add basket
« previous | next »
INSSI