search query: @keyword Timantinkaltainen hiili / total: 8
reference: 8 / 8
« previous | next »
Author:Kokkala, Ville
Title:Timantinkaltaisen hiilipinnoitteen plasma-avusteinen kasvatusprosessi
Plasma enhanced deposition process for diamond-like carbon coating
Publication type:Master's thesis
Publication year:2003
Pages:78      Language:   fin
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Elektronifysiikka   (S-69)
Supervisor:Kuivalainen, Pekka
Instructor:Mutikainen, Risto
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:diamond-like-carbon
DLC
PECVD
nanoindentation
timantinkaltainen hiili
DLC
PECVD
nanoindentointi
Abstract (fin):Tässä diplomityössä esitellään optimoitu prosessi timantinkaltaisen hiilipinnoitteen (DLC) kasvattamiseen radiotaajuusplasman avulla.
DLC:n käyttötarkoitus on toimia kulumista estävänä pinnoitteena mikroelektromekaanisissa kiihtyvyysantureissa.
Prosessiin kuuluu olennaisena osana myös kasvatuslaitteen automatisoitu puhdistus, joka optimoidaan nopeuden ja pinnoitettaville kiekoille kertyvien epäpuhtauksien suhteen.

Kirjallisuusosassa käydään läpi DLC-pinnoitteen monimutkaisen rakenteen ja kasvatusparametrien merkityksen tutkimuksessa erityisesti viime vuosina saavutettuja tuloksia.
Pinnoitteen ominaisuuksien mittausmenetelmiä arvioidaan tuotannon laadunvalvonnan kannalta, ja pinnoitteen vetypitoisuuden aiheuttamia mittausteknisiä erityispiirteitä tuodaan esille.

Puhdistus- ja kasvatusprosessin optimoinnissa hyödynnettiin tilastollista koesuunnittelua sekä muita tilastollisen analyysin työkaluja.
Mittauksissa käytettiin useita mekaanisia ja optisia menetelmiä sekä malleja, joista osa on kehitetty erityisesti DLC:tä varten.

Työn tulokset vastaavat kalvon ominaisuuksien osalta aiemmin julkaistuja tutkimuksia, joskin parametrien vaihtelualue jouduttiin pitämään melko suppealla tuotannollisuusvaatimuksen vuoksi.
Automaattisen puhdistuksen tehokkuutta saatiin parannettua huomattavasti, ja epäpuhtauksien määrä aleni noin 98 %.
ED:2003-09-15
INSSI record number: 19964
+ add basket
« previous | next »
INSSI