search query: @keyword angular rate sensor / total: 8
reference: 7 / 8
Author: | Klemetti, Petri |
Title: | Kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuus ja kohina |
Temperature dependence and noise of angular rate sensor element | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2004 |
Pages: | 80 Language: fin |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Mittaustekniikka (S-108) |
Supervisor: | Tittonen, Ilkka |
Instructor: | Blomqvist, Anssi |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | angular rate sensor noise temperature dependence MEMS kulmanopeusanturi kohina lämpötilariippuvuus MEMS |
Abstract (fin): | Tässä. diplomityössä. tutkitaan kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuuksia ja niiden vaikutusta anturin suorituskykyyn, kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman kokonaisuuden kohinaa sekä anturielementin epälineaarisuuksia. Tuloksia verrataan autoteollisuuden asettamiin vaatimuksiin. Kulmanopeusanturi vaatii toimiakseen elementin lisäksi elektroniikkaa. Tässä työssä rajoitutaan tutkimaan erillisiä resonaattoreita, joista anturielementti muodostuu ja arvioimaan lopullisten vaatimusten täyttymistä näiden tulosten pohjalta. Kulmanopeusanturin lämpötilariippuvuudet on jaettu kahteen osaan: mekaanisiin ja sähköisiin ilmiöihin. Mekaaniset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat piin mekaanisten ominaisuuksien muutoksista lämpötilan funktiona, anturirakenteen mekaanisesta taipumisesta ja anturin sisällä olevan paineen muutoksista. Tässä työssä tutkittavat sähköiset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat anturin sisällä olevien elektrodien pintajännitteen muutoksista. Sähköisistä ilmiöistä tutkitaan lisäksi resonaattoreihin aiheutuvia sähköisiä häviöitä. Kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman systeemin kohina asettaa maksimiarvon anturin suorituskyvylle. Mikromekaanisten anturirakenteiden kohinaa on tutkittu kirjallisuudessa laajasti. Tässä työssä on pyritty selvittämään merkittävimmät kohinalähteet tutkittavalle anturirakenteelle. Työn teoriaosassa käydään läpi anturin toiminnan perusfysiikkaa ja toimintaa kuvaavien parametrien analyyttinen tarkastelu kirjallisuudesta löytyvien tulosten pohjalta. Laskettuja tuloksia verrataan vastaaville rakenteille mitattuihin tuloksiin. Kokeellisessa osiossa anturielementin ominaisuuksia on mitattu lämpötila-alueella -30 'C ... + 85 ·C. Kohinaa ja epälineaarisuuksia on mitattu huoneenlämmössä. Työn tuloksena anturielementin ominaisuuksien lämpötilariippuvuusmekanismit on selvitetty ja riippuvuuksien suuruudet mitattu. Mittauksista saatujen tulosten perusteella anturielementistä voi rakentaa anturin, joka täyttää asetetut vaatimukset niin kohinan kuin lämpötilariippuvuuksien osalta. |
ED: | 2004-02-02 |
INSSI record number: 21142
+ add basket
INSSI