search query: @supervisor Lehto, Ari / total: 9
reference: 4 / 9
« previous | next »
Author:Koskipirtti, Kimmo
Title:Platinavastuksen passivointi
Passivation of a platinum resistor
Publication type:Master's thesis
Publication year:2006
Pages:x + 103      Language:   fin
Department/School:Materiaalitekniikan osasto
Main subject:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Supervisor:Lehto, Ari
Instructor:Stormbom, Lars ; Torri, Pauli ; Salo, Tomi
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark V80     | Archive
Abstract (fin): Diplomityössä tutkittiin passivointiratkaisuja Vaisalan Drycap 180D -kastepisteanturin platinavastukselle.
Passivoinnin ohella selvitettiin eri ohutkalvojen kykyä planarisoida kastepisteanturin rakennetta.
Platinavastuksen tehtävänä kastepisteanturissa on mitata lämpötilaa ja lämmittää anturia.

Teoriaosuudessa käsiteltiin platinavastuksen suojauksen syitä ja menetelmiä.
Tärkeimmiksi syiksi osoittautuivat anturin haastavat käyttöolosuhteet ja platinan katalyyttinen aktiivisuus.
Kirjallisuusselvityksen perusteella PECVD:Ilä kasvatetut piidioksidi ja piinitridi sekä orgaaniset SOG:it (Spin-on Glass) todettiin lupaaviksi materiaaleiksi asetettujen tavoitteiden kannalta.
Vastuksen suojakalvoina testattiin neljää erilaista orgaanista SOG:ia.
SOG:ien kanssa käytettiin PECVD-piidioksidia kolmikerrosrakenteena, koska SOG:ien adheesio platinaan oli riittämätön.
Toisaalta suojakerroksen paksuutta haluttiin kasvattaa.
Suojakalvoksi kokeiltiin myös polyimidiä (PI-2545) materiaalin hyväksi arvellun planarisointikyvyn takia.
Tutkittujen materiaalien ominaisuuksia ja valmistusmenetelmiä esiteltiin teoriaosuudessa.

Suojakalvojen kestävyyttä ja vaikutusta platinavastuksen suorituskykyyn testattiin erilaisilla kiihdytetyillä ympäristöaltistuksilla.
Vastusarvojen lämpötilariippuvuuden vesihaudemittaus osoitti kaikkien kalvotyyppien vaikuttavan vastuksen lämpötilakertoimeen (TCR).
PI-2545-kalvo vaurioitui 85/85-testissä.
Muut kalvot selvisivät altistuksista ilman näkyviä muutoksia.
Altistusten huomattiin muuttavan platinavastuksen suorituskykyä.
Vuotovirtoja mitattiin korkeissa kosteuksissa.
Virtojen suuruuksissa ei kuitenkaan havaittu selkeitä eroja pinnoitettujen ja pinnoittamattomien antureiden välillä.

Testien perusteella valittiin Filmtronicsin SOG (550F) sekä 400 nm paksuinen PECVD-piidioksidi jatkotutkimuksiin.
Suojakalvot sisällytettiin menestyksekkäästi Drycap 180D:n valmistusprosessiin.
Kalvojen kuvioinnissa käytettiin kahta erilaista ratkaisua, joista toinen tavoitteli pelkkää passivointia ja toinen passivoinnin ohella rakenteen planarisointia.
Kastepisteantureita testattiin DMT142 -kastepistelähettimien kanssa nopeilla suorituskykytesteillä.
Testien perusteella kumpikaan suojakalvoista ei huonontanut merkittävästi kastepisteanturin suorituskykyä.
Sen sijaan 400nm paksun PECVD-piidioksidikalvon havaittiin nopeuttavan anturin kykyä reagoida kosteuden muutoksiin erittäin alhaisissa kaasun suhteellisissa kosteuksissa, jos kalvo oli kuvioitu siten, että kondensaattori valmistettiin aluminasubstraatin päälle.
Suojakalvojen kyky suojata platinavastusta esimerkiksi katalyyttisiltä reaktioilta tai likaantumisen aiheuttamilta vuotovirroilta jäi tulevien pitkäkestoisten altistusten ja mahdollisten käyttökokemusten selvitettäväksi.
Kalvojen planarisointitavoite saavutettiin osittain.
ED:2006-04-11
INSSI record number: 31513
+ add basket
« previous | next »
INSSI