search query: @supervisor Lehto, Ari / total: 9
reference: 4 / 9
Author: | Koskipirtti, Kimmo |
Title: | Platinavastuksen passivointi |
Passivation of a platinum resistor | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2006 |
Pages: | x + 103 Language: fin |
Department/School: | Materiaalitekniikan osasto |
Main subject: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Supervisor: | Lehto, Ari |
Instructor: | Stormbom, Lars ; Torri, Pauli ; Salo, Tomi |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark V80 | Archive |
Abstract (fin): | Diplomityössä tutkittiin passivointiratkaisuja Vaisalan Drycap 180D -kastepisteanturin platinavastukselle. Passivoinnin ohella selvitettiin eri ohutkalvojen kykyä planarisoida kastepisteanturin rakennetta. Platinavastuksen tehtävänä kastepisteanturissa on mitata lämpötilaa ja lämmittää anturia. Teoriaosuudessa käsiteltiin platinavastuksen suojauksen syitä ja menetelmiä. Tärkeimmiksi syiksi osoittautuivat anturin haastavat käyttöolosuhteet ja platinan katalyyttinen aktiivisuus. Kirjallisuusselvityksen perusteella PECVD:Ilä kasvatetut piidioksidi ja piinitridi sekä orgaaniset SOG:it (Spin-on Glass) todettiin lupaaviksi materiaaleiksi asetettujen tavoitteiden kannalta. Vastuksen suojakalvoina testattiin neljää erilaista orgaanista SOG:ia. SOG:ien kanssa käytettiin PECVD-piidioksidia kolmikerrosrakenteena, koska SOG:ien adheesio platinaan oli riittämätön. Toisaalta suojakerroksen paksuutta haluttiin kasvattaa. Suojakalvoksi kokeiltiin myös polyimidiä (PI-2545) materiaalin hyväksi arvellun planarisointikyvyn takia. Tutkittujen materiaalien ominaisuuksia ja valmistusmenetelmiä esiteltiin teoriaosuudessa. Suojakalvojen kestävyyttä ja vaikutusta platinavastuksen suorituskykyyn testattiin erilaisilla kiihdytetyillä ympäristöaltistuksilla. Vastusarvojen lämpötilariippuvuuden vesihaudemittaus osoitti kaikkien kalvotyyppien vaikuttavan vastuksen lämpötilakertoimeen (TCR). PI-2545-kalvo vaurioitui 85/85-testissä. Muut kalvot selvisivät altistuksista ilman näkyviä muutoksia. Altistusten huomattiin muuttavan platinavastuksen suorituskykyä. Vuotovirtoja mitattiin korkeissa kosteuksissa. Virtojen suuruuksissa ei kuitenkaan havaittu selkeitä eroja pinnoitettujen ja pinnoittamattomien antureiden välillä. Testien perusteella valittiin Filmtronicsin SOG (550F) sekä 400 nm paksuinen PECVD-piidioksidi jatkotutkimuksiin. Suojakalvot sisällytettiin menestyksekkäästi Drycap 180D:n valmistusprosessiin. Kalvojen kuvioinnissa käytettiin kahta erilaista ratkaisua, joista toinen tavoitteli pelkkää passivointia ja toinen passivoinnin ohella rakenteen planarisointia. Kastepisteantureita testattiin DMT142 -kastepistelähettimien kanssa nopeilla suorituskykytesteillä. Testien perusteella kumpikaan suojakalvoista ei huonontanut merkittävästi kastepisteanturin suorituskykyä. Sen sijaan 400nm paksun PECVD-piidioksidikalvon havaittiin nopeuttavan anturin kykyä reagoida kosteuden muutoksiin erittäin alhaisissa kaasun suhteellisissa kosteuksissa, jos kalvo oli kuvioitu siten, että kondensaattori valmistettiin aluminasubstraatin päälle. Suojakalvojen kyky suojata platinavastusta esimerkiksi katalyyttisiltä reaktioilta tai likaantumisen aiheuttamilta vuotovirroilta jäi tulevien pitkäkestoisten altistusten ja mahdollisten käyttökokemusten selvitettäväksi. Kalvojen planarisointitavoite saavutettiin osittain. |
ED: | 2006-04-11 |
INSSI record number: 31513
+ add basket
INSSI